T 1551/11 () of 8.8.2013

European Case Law Identifier: ECLI:EP:BA:2013:T155111.20130808
Datum der Entscheidung: 08 August 2013
Aktenzeichen: T 1551/11
Anmeldenummer: 03026360.2
IPC-Klasse: C23C 14/26
Verfahrenssprache: DE
Verteilung: D
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Bibliografische Daten verfügbar in: DE
Fassungen: Unpublished
Bezeichnung der Anmeldung: Bedampfungsvorrichtung
Name des Anmelders: Applied Materials GmbH & Co. KG
Name des Einsprechenden: -
Kammer: 3.2.07
Leitsatz: -
Relevante Rechtsnormen:
European Patent Convention Art 54
European Patent Convention Art 111(1)
European Patent Convention Art 123(2)
Rules of procedure of the Boards of Appeal Art 13(1)
Rules of procedure of the Boards of Appeal Art 13(3)
Schlagwörter: Zulässigkeit der Änderung des Vorbringens (ja)
Zulässigkeit der Änderungen (ja)
Neuheit (ja)
Zurückverweisung an die Erstinstanz
Orientierungssatz:

-

Angeführte Entscheidungen:
-
Anführungen in anderen Entscheidungen:
-

Sachverhalt und Anträge

I. Die Beschwerdeführerin (Anmelderin) hat gegen die Entscheidung der Prüfungsabteilung über die Zurückweisung der europäischen Patentanmeldung Nr. 03 026 360.2 Beschwerde eingelegt.

Mit ihrer Beschwerdebegründung vom 30. Mai 2011 beantragte die Beschwerdeführerin, die Entscheidung aufzuheben und ein Patent auf der Basis der Ansprüche 1-10 des Hauptantrags (identisch mit dem Antrag der angefochtenen Entscheidung, d.h. den Ansprüchen 1-10 der Anmeldung wie ursprünglich eingereicht) oder alternativ auf der Basis der Ansprüche 1-9 des Hilfsantrags, beide wie mit der Beschwerdebegründung eingereicht, zu erteilen. Hilfsweise beantragte sie eine mündliche Verhandlung.

II. Die Prüfungsabteilung hatte entschieden, dass der Gegenstand von Anspruch 1 in der ursprünglichen Fassung gemäß dem einzigen Antrag gegenüber D1 nicht neu ist.

III. In der vorliegenden Entscheidung ist das folgende Dokument aus dem Prüfungsverfahren zitiert:

D1 = JP-A-10 008 241 (Japanisches Original sowie Patent Abstracts of Japan)

sowie die von der Beschwerdeführerin im Beschwerdeverfahren eingebrachten Dokumente:

D2 = Wikipedia-Auszug "Oben und Unten" (http://de.wikipedia.org/wiki/Oben_und_unten)

D3 = Wikipedia-Auszug "Mantelfläche" (http://de.wikipedia.org/wiki/Mantelfl%C3%A4che)

sowie die beiden von der Kammer in das Verfahren eingeführten Dokumente:

D1' = Englische Maschinenübersetzung von D1, erstellt vom Japanischen Patentamt

D4 = US-A-4 880 960 (aus dem Recherchenbericht bzw. aus der Beschreibung der vorliegenden Anmeldung)

IV. Mit Bescheid vom 19. Februar 2013, der als Anlage zur Ladung für die angesetzte mündliche Verhandlung vor der Kammer beigefügt war, teilte die Kammer ihre vorläufige Meinung im Hinblick auf die Ansprüche 1-10 des Hauptantrags sowie der Ansprüche 1-9 des Hilfsantrags im Hinblick auf D1/D1' mit.

Die Vorrichtung von Anspruch 1 des Hauptantrags schien gegenüber der Verdampfervorrichtung gemäß D1 nicht neu zu sein.

Dem Gegenstand von Anspruch 1 des Hilfsantrags schien es gegenüber D1/D1' in Kombination mit dem allgemeinen Fachwissen des Faschmannes an der notwendigen erfinderischen Tätigkeit zu mangeln.

V. Mit Schreiben vom 4. Juli 2013 hat die Beschwerdeführerin einen Hauptantrag (der mit Ausnahme von Änderungen gemäß der neuen Rechtschreibung identisch mit dem alten Hauptantrag ist) und einen 1. bis 3. Hilfsantrag zusammen mit Argumenten einer neuen Argumentationslinie betreffend die Neuheit von Anspruch 1 des Hauptantrags gegenüber D1 im Lichte der Definitionen von D2 und D3 sowie bezüglich der Basis der in den 1. bis 3. Hilfsanträgen gemachten Änderungen sowie bezüglich deren Neuheit und erfinderischer Tätigkeit gegenüber D1 eingereicht.

Mit dem Fax vom 7. August 2013 reichte die Beschwerdeführerin angepasste Beschreibungsseiten für den 1. bis 3. Hilfsantrag ein.

VI. Am 8. August 2013 fand die mündliche Verhandlung vor der Kammer statt. Zunächst wurde die Zulässigkeit des im Zuge des Schriftsatzes vom 4. Juli 2013 geänderten Vorbringens zur Frage der Abgrenzung der streitgegenständlichen Anmeldung auf der Basis des mit diesem Schriftsatz als Hauptantrag und als 1. bis 3. Hilfsanträge eingereichten Anspruchssätze gegenüber dem Stand der Technik im Hinblick auf die Artikel 13 (1) und (3) VOBK diskutiert. Als Folge der Diskussion der Neuheit der Vorrichtung von Anspruch 1 des Hauptantrags im Hinblick auf D1/D1' sowie von Anspruch 1 des 1. Hilfsantrags im Hinblick auf Artikel 123(2) EPÜ reichte die Beschwerdeführerin einen modifizierten "1. Hilfsantrag neu" ein. Nach der Diskussion der Zulässigkeit dieses "1. Hilfsantrags neu" wurden die Fragen der Zulässigkeit der Änderungen desselben sowie die Frage der Neuheit gegenüber D1/D1' und D4 diskutiert. Am Ende der Diskussion erklärt die Beschwerdeführerin diesen "1. Hilfsantrag neu" zu ihrem neuen Hauptantrag bzw. dass die im schriftlichen Verfahren eingereichten 2. und 3. Hilfsanträge als 1. und 2. Hilfsanträge weiterverfolgt werden.

Die Beschwerdeführerin beantragte, die angefochtene Entscheidung aufzuheben und ein Patent auf der Basis eines der Anspruchssätze zu erteilen, eingereicht als

"1. Hilfsantrag - neu" während der mündlichen Verhandlung (neuer Hauptantrag) und als

2. und 3. Hilfsantrag mit Schriftsatz vom 4. Juli 2013 (neuer 1. und 2. Hilfsantrag).

Am Ende der mündlichen Verhandlung wurde die Entscheidung verkündet.

VII. Der Gegenstand des unabhängigen Anspruches 1 des (neuen) Hauptantrags ist (Änderungen gegenüber Anspruch 1 des der angefochtenen Entscheidung zugrunde liegenden Antrages in Fettdruck, von der Kammer hinzugefügt):

"1. Bedampfungsvorrichtung zum Bedampfen von vertikal ausgerichteten Bereichen eines Substrates, bei welcher ein aufrecht stehender Schmelztiegel (2) mit einer Heizung (11) zum Schmelzen und Verdampfen von in dem Schmelztiegel eingefülltem Material angeordnet ist und die eine Umlenkeinrichtung zum Umlenken des vertikal aus dem Schmelztiegel (2) strömenden Dampfes horizontal zu dem Substrat hin aufweist, wobei die Umlenkeinrichtung ein auf dem Schmelztiegel (2) von oben her aufsitzendes, an seiner oberen Seite verschliessbares Düsenrohr (3) ist, welches in seiner Mantelfläche einen horizontalen Dampfauslass (8) aufweist, und dass das Düsenrohr (3) eine von der Heizung (11) des Schmelztiegels (2) unabhängige Heizung (10) hat, wobei das Düsenrohr (3) konzentrisch von mehreren Strahlblechen (14) umgeben ist, so dass die Wärmeabgabe der Heizung des Schmelztiegels und des Düsenrohres zum Schmelztiegel und dem Düsenrohr gerichtet wird, und die mehreren Strahlbleche im Bereich des Dampfauslasses (8) jeweils ein Dampfdurchlassfenster aufweisen."

VIII. Die Ansprüche 1 der Hilfsanträge 1 bis 3 sind für die vorliegende Entscheidung nicht relevant.

IX. Die Beschwerdeführerin hat in der mündlichen Verhandlung im Wesentlichen folgende, für die Entscheidung relevanten Argumente vorgetragen:

Im vorliegenden Fall musste ein Vertreterwechsel aufgrund des Todes des ursprünglichen Vertreters erfolgen, welcher sich erst nach dem Ladungsbescheid der Kammer auswirkte. Dabei wurde das ursprüngliche Vorbringen, das aber nicht unberücksichtigt bleiben sollte, im Hinblick auf zusätzliche Merkmale von Anspruch 1 des 1. Hilfsantrags abgeändert, da diese als die richtigen Unterscheidungsmerkmale gegenüber der Vorrichtung gemäß D1/D1' angesehen werden. Der damit angesprochene geänderte Sachverhalt sei aber sehr einfach und nicht komplex. Das gleiche gelte für die leichte Modifikation der Merkmale gemäß dem "1. Hilfsantrag neu", der vorliegende Hauptantrag. Deshalb sei dieser neue Sachverhalt der Kammer zumutbar und könne von dieser auch im Hinblick auf die Verfahrensökonomie berücksichtigt werden. Dabei solle auch berücksichtigt werden, dass das Erteilungsverfahren nicht optimal gelaufen sei, da z.B. keine mündliche Verhandlung vor der Prüfungsabteilung stattgefunden hat.

Im Hinblick auf eine mögliche Zurückverweisung an die Erstinstanz wegen des der Anmelderin bereits bekannten Dokuments D4 - das in der Beschreibung der Anmeldung zitiert ist jedoch im Prüfungsverfahren bisher keine Rolle gespielt hat - werde ausgeführt, dass es im Interesse der Beschwerdeführerin liege, das Verfahren vor zwei Instanzen zu führen. Außerdem sei auch die Offenbarung der Vorrichtung gemäß D4 nicht komplex und daher für die Kammer zumutbar. D1 wäre nur zufällig neuheitsschädlich für den früheren Hauptantrag und daher werde nun aufgrund des zur Abgrenzung gegenüber D1/D1' zusätzlich aufgenommenen Merkmals der konzentrischen Strahlbleche ein neuer Stand der Technik, nämlich D4, relevant.

Anspruch 1 des neuen Hauptantrages basiere auf dem ursprünglichen Anspruch 1 in Kombination mit Seite 4, letzter Absatz, der Beschreibung der Anmeldung in der ursprünglich eingereichten Fassung. Daher seien die Erfordernisse von Artikel 123(2) EPÜ erfüllt.

Die Vorrichtung gemäß Anspruch 1 des neuen Hauptantrags unterscheide sich von jener nach D4 dadurch, dass bei D4

1) kein Düsenrohr vorhanden sei, das auf dem Schmelztiegel aufsitze, und

2) keine getrennte Heizung vorhanden sei, da nur eine Heizung des Tiegels offenbart werde.

Damit sei die Neuheit von Anspruch 1 des neuen Hauptantrags eindeutig gegeben.

Entscheidungsgründe

1. Zulässigkeit des neuen Antrages (Artikel 13 VOBK)

1.1 Gemäß Artikel 13 (1) VOBK steht es im Ermessen der Kammer, Änderungen des Vorbringens eines Beteiligten nach Einreichung seiner Beschwerdebegründung zuzulassen und zu berücksichtigen, wobei insbesondere die Komplexität des neuen Vorbringens, der Stand des Verfahrens und die gebotene Verfahrensökonomie berücksichtigt werden.

1.1.1 Die Beschwerdeführerin hat mit ihrer Eingabe vom 4. Juli 2013 (siehe oberen Punkt V) und somit erst nach dem Ladungsbescheid vom 14. Februar 2013 (siehe oberen Punkt IV), eine Änderung ihres in der Beschwerdebegründung dargelegten Vorbringens durch das Einreichen des 1. bis 3. Hilfsantrages und einer völlig neuen Argumentationslinie, welche die Neuheit von Anspruch 1 dieser Hilfsanträge gegenüber D1 bzw. D1' begründen würde, gemacht.

1.1.2 Im vorliegenden Fall wird die Änderung des Vorbringens durch diese neue Argumentationslinie aber als Reaktion auf den Bescheid der Kammer gewertet, da die darin enthaltene Argumentation im Hinblick auf die Offenbarung von D1 technisch mehr den Überlegungen der Kammer entspricht, als das ursprüngliche Vorbringen. Das Vorbringen räumt außerdem die Bedenken der Kammer im Hinblick auf die Neuheit auf einfache Weise aus.

Diese neue Argumentationslinie wird im Übrigen nicht als komplex angesehen und konnte daher, ohne die Verfahrensökonomie negativ zu beeinflussen, von der Kammer in der mündlichen Verhandlung berücksichtigt werden.

1.1.3 Die analoge Schlussfolgerung wie für die neue Argumentationslinie in Bezug auf D1/D1' gilt auch für das in der vorliegenden Anmeldung zitierte (siehe Seite 1, dritter Absatz) Dokument D4. Durch die in Anspruch 1 des neuen Hauptantrags (der auf Anspruch 1 des 1. Hilfsantrags vom 4. Juli 2013 basiert) zusätzlich aufgenommenen Merkmale (siehe oberen Punkt VII) ist D4, das im Übrigen auch im Recherchenbericht der vorliegenden Anmeldung zitiert ist, nun für das Prüfungsverfahren dieses Anspruchs 1 relevanter als D1/D1' geworden. Die Vorrichtung bzw. die Offenbarung von D4 ist, wie von der Beschwerdeführerin in der mündlichen Verhandlung zugestanden wurde, in Bezug auf die Neuheit ebenfalls einfach zu verstehen, so dass seine Berücksichtigung der Beschwerdeführerin zumutbar war. Aus diesem Grund konnte auch D4 von der Kammer für die Frage der Neuheit berücksichtigt werden.

1.1.4 Unter Berücksichtigung der oberen Ausführungen, lässt die Kammer, in Ausübung ihres Ermessens gemäß

Artikel 13 (1) VOBK, daher den neuen Hauptantrag in das Verfahren zu.

2. Zulässigkeit der Änderungen (Artikel 123 (2) EPÜ)

Die Kammer erkennt an, dass mit Anspruch 1 des neuen Hauptantrages ihre ursprünglichen Bedenken im Hinblick auf die Änderungen des Anspruchs 1 des 1. Hilfsantrags vom 4. Juli 2013 ausgeräumt wurden.

Anspruch 1 des neuen Hauptantrags basiert auf einer Kombination des ursprünglichen Anspruches 1 und der bevorzugten Ausführungsform gemäß Seite 4, letzter Absatz, der Anmeldung in der ursprünglich eingereichten Fassung.

Anspruch 1 des neuen Hauptantrags erfüllt daher die Erfordernisse von Artikel 123 (2) EPÜ.

3. Neuheit (Artikel 54 EPÜ)

3.1 Die Bedampfungsvorrichtung gemäß Anspruch 1 des neuen Hauptantrags unterscheidet sich von jener nach D1/D1' zumindest dadurch, dass das Düsenrohr konzentrisch von mehreren Strahlblechen umgeben ist, so dass die Wärmeabgabe der Heizung des Schmelztiegels und des Düsenrohres zum Schmelztiegel und zum Düsenrohr gerichtet wird, und dass die mehreren Strahlbleche im Bereich des Dampfauslasses jeweils ein Dampfauslassfenster aufweisen. Das Düsenrohr 55 bzw. 56 gemäß der Vorrichtung nach D1 ist nur in dem Wärmeisolierungsgehäuse 58 angeordnet (siehe D1, Figuren 1 und 8; bzw. D1', Absätze [0003] bis [0005] und [0012] bis [0017]).

3.2 Die Bedampfungsvorrichtung gemäß Anspruch 1 des neuen Hauptantrags unterscheidet sich bereits von der Vorrichtung nach D4 zum Bedampfen eines vertikal ausgerichteten Bereiches eines Substrats mit Magnesium dadurch, dass keine getrennte Heizung vorhanden ist, da in D4 nur eine Heizung des gesamten Tiegels, zusammen mit seiner vertikalen rohrförmigen Fortsetzung 18, z.B. mittels einer Widerstandsheizung, offenbart wird (siehe Spalte 4, Zeile 26 bis Spalte 6, Zeile 57; und Figur 1).

Dieser Tiegel 18 gemäß D4 weist einen unteren Tiegelabschnitt auf, der dem Schmelztiegel 2 der vorliegenden Anmeldung entspricht. Der obere Tiegelabschnitt des Tiegels 18 nach D4 weist eine mit einem feinen Netz 32 verschlossene horizontale Dampfauslassöffnung für den Metalldampf sowie die verschliessbare koaxiale Öffnung 38 zum Einbringen des Metallpulvers 52 auf, welcher somit dem Düsenrohr 3 mit dem Dampfauslass 8 und der koaxialen Befüllungsöffnung 6 der vorliegenden Anmeldung entspricht. Dabei ist auch zu berücksichtigen, dass sowohl der Schmelztiegel als auch das Düsenrohr gemäß dem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Anmeldung aus demselben Material, nämlich Graphit, besteht (siehe Seite 6, dritter Absatz).

Die Kammer kann deshalb in der Tatsache, dass in D4 kein separates "Rohr" beschrieben wird, das auf dem Schmelztiegel 18 aufsitzt, wie von der Beschwerdeführerin argumentiert wurde, kein weiteres unterscheidendes Merkmal in Anspruch 1 des neuen Hauptantrags anerkennen. Ob das feine Netz den oberen Rohrabschnitt 18 zu einem Düsenrohr macht, wäre im weiteren Prüfungsverfahren (siehe Punkt 4) zu diskutieren.

3.3 Unter Berücksichtigung der oberen Ausführungen ist die Neuheit von Anspruch 1 des neuen Hauptantrags gegenüber D1/D1' und D4 eindeutig gegeben. Anspruch 1 des neuen Hauptantrags erfüllt daher die Erfordernisse von Artikel 54 EPÜ.

4. Zurückverweisung an die Erstinstanz (Artikel 111 (1) EPÜ)

Die angefochtene Entscheidung betraf nur die Frage der Neuheit im Hinblick auf das Dokument D1.

Da die Neuheit durch die Aufnahme von zusätzlichen Merkmalen gegeben ist, wäre nunmehr insbesondere die Frage der erfinderischen Tätigkeit gegenüber dem von der Kammer in das Prüfungsverfahren eingeführten neuen nächstkommenden Stand der Technik D4 zu klären.

Da die Prüfungsabteilung die Frage der erfinderischen Tätigkeit gegenüber dem nächstkommenden Stand der Technik, bzw. ob alle weiteren Erfordernisse des EPÜ von der Anmeldung erfüllt werden, bisher nicht geprüft hat, hält die Kammer eine Zurückverweisung in Ausübung ihres Ermessens gemäß Artikel 111 (1) EPÜ für geboten, um die Prüfung der Sache durch zwei Instanzen zu ermöglichen.

ENTSCHEIDUNGSFORMEL

Aus diesen Gründen wird entschieden:

1. Die angefochtene Entscheidung wird aufgehoben.

2. Die Angelegenheit wird an die erste Instanz zur weiteren Entscheidung auf der Basis des (neuen) Hauptantrages zurückverwiesen.

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