T 0717/13 () of 28.11.2017

European Case Law Identifier: ECLI:EP:BA:2017:T071713.20171128
Datum der Entscheidung: 28 November 2017
Aktenzeichen: T 0717/13
Anmeldenummer: 09170565.7
IPC-Klasse: H01L 21/768
Verfahrenssprache: DE
Verteilung: D
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Bibliografische Daten verfügbar in: DE
Fassungen: Unpublished
Bezeichnung der Anmeldung: Verfahren zum galvanischen Aufbringen eines Metalls, insbesondere von Kupfer, Verwendung dieses Verfahrens und integrierte Schaltungsanordnung
Name des Anmelders: Infineon Technologies AG
Name des Einsprechenden: -
Kammer: 3.4.03
Leitsatz: -
Relevante Rechtsnormen:
European Patent Convention 1973 Art 84
European Patent Convention 1973 Art 111(1)
European Patent Convention Art 123(2)
European Patent Convention R 103(1)(a)
Schlagwörter: Änderungen - Erweiterung über den Inhalt der Anmeldung in der eingereichten Fassung hinaus (nein)
Patentansprüche - Deutlichkeit (ja)
Patentansprüche - Fehlen wesentlicher Merkmale (nein)
Zurückverweisung an die erste Instanz - (ja)
Rückzahlung der Beschwerdegebühr - (nein)
Orientierungssatz:

-

Angeführte Entscheidungen:
-
Anführungen in anderen Entscheidungen:
-

Sachverhalt und Anträge

I. Die Beschwerde der Anmelderin richtet sich gegen die Entscheidung der Prüfungsabteilung, die europäische Patentanmeldung Nr. 09170565 wegen mangelnder Deutlich­keit und Stütze in der Beschreibung (Artikel 84 EPÜ 1973) und wegen Erweiterung über den Inhalt der Anmel­dung in der ursprünglich eingereichten Fassung (Artikel 123(2) EPÜ) zurückzuweisen.

II. Der Termin zu einer anberaumten mündlichen Verhandlung wurde aufgehoben, nachdem die Beschwerdeführerin (An­melderin) der Kammer mitgeteilt hatte, nicht zu beab­sichtigen an der mündlichen Verhandlung teilzunehmen.

Im schriftlichen Verfahren hatte die Beschwerde­führerin beantragt, die angefochtene Entscheidung aufzuheben und die Angelegenheit auf der Grundlage des mit Schriftsatz vom 1. Juni 2017 eingereichten Haupt­antrags oder der mit demselben Schriftsatz eingereich­ten Hilfsanträge 1 bis 7 zur Durchführung einer ergän­zenden Recherche und der erneuten Prüfung der Neuheit und erfinderische Tätigkeit an die Prüfungsabteilung zurückzuverweisen.

Außerdem beantragte die Beschwerdeführerin die Rück­zahlung der Beschwerdegebühr.

III. Der Wortlaut des jeweiligen unabhängigen Anspruchs 1 des Hauptantrags bzw. Hilfsantrags 1 bis 7 lautet wie folgt (Merkmalskennzeichnungen "(a)", "(b)", "(c)", "(d)", "(e)", "(f)", "(g)", "(h)", "(i)", "(e)'", "(g)'", und "(g)**(#)" durch die Kammer):

Hauptantrag:

"1. Verfahren zum Aufbringen von Kupfer (32, 32a),

bei dem ohne Beschränkung durch die angegebene Reihen­folge die folgenden Verfahrensschritte ausgeführt werden:

Erzeugen eines Kontaktlochs (18, 18a) zu einer Leitbahn (14, 14a) in einer Isolierschicht (16, 16a) einer integrierten Schaltungsanordnung (10, 1Oa),

Aufbringen einer Diffusions-Barriereschicht (20, 20a) nach dem Erzeugen des Kontaktlochs (18, 18a),

(a) Aufbringen von Kupfer (32, 32a) mit Hilfe eines galvanischen Verfahrens,

(b) wobei die Barriereschicht (20a) als Grenz­elektrode in dem galvanischen Verfahren zum Aufbringen des Kupfers dient,

(c) oder wobei zusätzlich zur Barriereschicht (20) vor dem Aufbringen einer strahlungsempfindlichen Schicht (30) eine Grenzelektrodenschicht (22) aus Aluminium oder aus einer Aluminiumlegierung aufgebracht wird, die aus einem Material mit einer anderen Materialzusammen­setzung als die Barriereschicht (20) besteht,

(d) wobei eine für das galvanische Verfahren verwendete Elektrolyt-Lösung Kupferionen enthält,

(e) wobei die Lösung frei von einem Reduktionsmittel ist,

(f) und wobei das galvanische Verfahren außenstrom­los durchgeführt wird,

(g) wobei die Grenzelektrodenschicht (22) während des galvanischen Verfahrens vollständig oder bis zu einer Teilschicht zersetzt wird, und/oder die Barriereschicht (20, 20a) in einer Teilschicht während des galvanischen Verfahrens zersetzt wird."

1. Hilfsantrag

Anspruch 1 des 1. Hilfsantrags unterscheidet sich von Anspruch 1 des Hauptantrags dadurch, dass Merkmal (g) durch folgende Merkmale ersetzt ist:

(h) "wobei die Schritte ausgeführt werden:

Aufbringen der oder einer strahlungsempfindlichen Schicht (30, 30a) nach dem Aufbringen der Barriereschicht (20, 20a),

Bestrahlen der strahlungsempfindlichen Schicht (30, 30a) gemäß einem Muster,

Entwickeln der strahlungsempfindlichen Schicht (30, 30a) nach dem Bestrahlen, nach dem Aufbringen des Kupfers (32, 32a) Entfernen von Resten der strahlungsempfindlichen Schicht (30, 30a),"

(g)' "wobei die Grenzelektrodenschicht (22) während des galvanischen Verfahrens vollständig oder bis zu einer Teilschicht zersetzt wird, oder wobei die Barriere­schicht (20, 20a) in einer Teilschicht während des galvanischen Verfahrens zersetzt wird,"

(i) "und wobei die Leitbahn (14, 14a) aus Alu­minium oder aus einer Aluminiumlegierung besteht."

2. Hilfsantrag

Anspruch 1 des 2. Hilfsantrags unterscheidet sich von Anspruch 1 des 1. Hilfsantrags dadurch, dass "Auf­bringen von Kupfer (32, 32a)" durch "Aufbringen von Kupfer (32, 32a) oder einer Kupferlegierung" ersetzt ist.

3. Hilfsantrag

Anspruch 1 des 3. Hilfsantrags unterscheidet sich von Anspruch 1 des 1. Hilfsantrags dadurch, dass Merkmal (e) durch folgendes Merkmal ersetzt ist:

(e)' "wobei die Lösung nur die Moleküle einer Basis­lösung, die Kupferionen und Ionen entgegen­gesetzter Polarität enthält, die mit den Metallionen ein Salz bilden, das in der Elektrolytlösung gelöst ist,"

4. Hilfsantrag

Anspruch 1 des 4. Hilfsantrag unterscheidet sich von Anspruch 1 des Hauptantrags dadurch, dass Merkmal (c) gestrichen ist und Merkmal (g) durch folgendes Merkmal ersetzt ist:

(g)**(#) "wobei die Barriereschicht (20, 20a) in einer Teilschicht während des galvanischen Verfahrens zer­setzt wird."

5. und 6. Hilfsantrag

Anspruch 1 des 5. Hilfsantrag unterscheidet sich von Anspruch 1 des 4. Hilfsantrags dadurch, dass er zusätz­lich vor bzw. nach Merkmal (g)**(#) die Merkmale (h) und (i) enthält.

Anspruch 1 des 6. Hilfsantrags ist mit Anspruch 1 des 5. Hilfsantrags identisch.

7. Hilfsantrag

Anspruch 1 des 7. Hilfsantrags unterscheidet sich von Anspruch 1 des 5. Hilfsantrags dadurch, dass

- Merkmal (e) durch Merkmal (e)' ersetzt ist und

- "zum Aufbringen des Kupfers" durch "zum Aufbringen des Kupfers oder der Kupferlegierung" ersetzt ist.

IV. Die Beschwerdeführerin hat im Wesentlichen Folgendes vorgetragen:

a) Änderungen

Anspruch 1 des Hauptantrags enthalte die Merkmale der ursprünglichen Ansprüche 5, 10, 11 und 15.

b) Deutlichkeit, Stützung durch die Beschreibung

Werde der Begriff "Elektrode" in Übereinstimmung mit der Beschreibung und mit der in der "Struktur der Materie" gegebenen Definition verwendet, so sei es nicht zwingend, dass von außen Strom angelegt werde. Es sei überdies eine ausreichende Stützung gegeben, da für den Fachmann klar sei, dass "außenstrom­los" und "ohne Reduktionsmittel" mit einer "Zersetzung" einer Schicht untrennbar verbunden sei. Die Formulierung "frei von Reduktionsmitteln" sei in diesem Zusammenhang klar.

Dass die Leitbahn aus Aluminium bestehe sei für ein Verfahren unerheblich, das auf einer Barriere oder einer über der Barriere liegenden Schicht ausgeführt werde. Es sei auch nicht Sinn und Zweck von Artikel 84 EPÜ, die Ansprüche allein auf die Ausführungsbeispiele zu beschränken.

c) Zurückverweisung an die Prüfungsabteilung

Eine Recherche sollte für alle Ansprüche durchgeführt werden, da die Ansprüche zumindest im Lichte der Beschreibung klar seien. Die Sache sei an die Prüfungsabteilung zur Durchführung einer ergänzenden Recherche zurückzuverweisen.

Entscheidungsgründe

1. Hauptantrag

1.1 Änderungen

Im Bescheid vom 12. März 2012, auf welchen in der an­gefochtenen Entscheidung nach Lage der Akten hinge­wiesen wurde, erhob die Prüfungsabteilung einen Einwand unter Artikel 123(2) EPÜ mit dem Hinweis, dass die ein­zigen, mit Bezug auf die Abbildungen 1 und 2 beschrie­benen Ausführungsbeispiele der Anmeldung Merkmale auf­wiesen (ins­beson­dere die struktu­rierte Fotolack­schicht 30 und die Alu­miniumleitbahn 14), welche nicht bean­sprucht seien (siehe Punkte 1.2 und 1.7 des Bescheids).

Nach Ansicht der Kammer basiert Anspruch 1 des Haupt­antrags jedoch gar nicht auf den konkreten Ausführungs­beispielen der Erfindung, sondern auf den ursprüng­lichen Ansprüchen und dem Teil der Beschreibung, wel­cher die Erfindung allgemein beschreibt. Somit enthält der Anspruch auch keine Zwischenverallgemeinerung.

Konkret basiert der unabhängige Anspruch 1 des Haupt­antrags auf den ursprüng­lichen Ansprüchen 1, 5, 8, 11 und 12 und auf dem allgemeinen Teil der ursprünglichen Beschreibung auf Seite 1, Zeilen 23-25, Seite 8, Zeilen 34-36 und Seite 10, Zei­len 26-28­.

Die abhängigen Ansprüche 2-11 basieren auf den ur­sprünglichen Ansprüchen 2, 6, 7, 9, 10, 11 und 13-15.

Die Änderungen in Bezug auf den Anspruchssatz gemäß Hauptantrag gehen daher nicht über den Inhalt der Anmeldung in der ursprünglich eingereichten Fassung hinaus (Artikel 123 (2) EPÜ).

1.2 Deutlichkeit

1.2.1 In dem in der an­gefochtenen Entscheidung zitierten Bescheid erhob die Prüfungs­abteilung überdies mehrere Klarheitseinwände gegen die unabhängigen Ansprüche des damals anhängigen Hauptantrags, welche durch ent­sprechende, im Beschwerdeverfahren vorgenommene Änderungen der An­sprüche behoben wurden.

Insbesondere wurde der bemängelte Widerspruch und die beanstandete Verwendung eines negativen Merkmals im da­ma­ligen Anspruch 1 (siehe Punkte 1.1 und 1.4 des Be­scheids) dadurch behoben, dass Anspruch 1 des gegen­wär­tigen Hauptantrags auf das "Auf­bringen von Kupfer" be­schränkt ist (siehe Merkmal (a)) und durch das Merk­mal ergänzt ist, dass die Grenz­elek­troden­schicht und/oder die Barriereschicht während des galvanischen Ver­fahrens zumindest teilweise zersetzt werden (siehe Merk­­­mal (g)). Außerdem wurde der Klarheits­einwand gegen den da­maligen Vorrichtungs­anspruch (siehe Punkt 1.8 des Be­scheids) durch die Streichung dieses Anspruchs beho­ben.

1.2.2 Die Prüfungsabteilung vertrat in dem genannten Bescheid außerdem die Ansicht, dass die Verwendung des Begriffs "Grenzelektrode" einen Stromfluss impliziere, wohin­gegen das beanspruchte galvanische Verfahren außen­strom­los durchzuführen sei (siehe Punkte 3.1 bis 3.3 des Bescheids).

Die Prüfungsabteilung war anscheinend der Meinung, dass die Verwendung der Be­griffe "Grenz­elektrode" und "Grenz­­­­elek­troden­schicht" im Widerspruch zur Verwendung des Begriffs "außenstromlos" stehe. Diese Sichtweise beruht jedoch - nach Ansicht der Kammer - auf einer Aus­legung der Begriffe "Grenz­elektrode" und "Grenz­elek­troden­schicht", welche den relevanten Kontext außer Acht lässt. Die Begriffe eines Anspruchs sind aber im Gesamtzusammen­hang der Anmeldung und insbesondere unter Berück­sichti­gung der anderen Merkmale des Anspruchs aus­zulegen.

Im vorliegenden Fall wird im Anspruch 1 des Haupt­antrags ein Verfahren zum Aufbringen von Kupfer mit Hilfe eines galvanischen Verfahrens definiert, wobei das gal­vanische Verfahren "außenstromlos durchgeführt wird" (siehe Merkmale (a) und (f)). Für den Fachmann ist es daher evident, dass es sich bei dem bean­spruch­ten galvanischen Verfahren um ein chemisches Verfahren handelt, bei dem das Kupfer ohne Anwendung eines äußeren Stroms abgeschieden wird. Dementsprechend wird der Fachmann unter "Grenz­elektrode" bzw. "Grenz­elek­troden­schicht" (siehe Merkmale (b) und (c)) einen elek­trischen Leiter ver­stehen, auf welchem die Abschei­dung des Kupfers chemisch stattfindet. Insbesondere findet die Abscheidung durch Ionenaustausch zwischen Grenz­elektrode und Lösung statt (siehe Merkmale (d), (e) und (g)). Nach Ansicht der Kammer entspricht diese Be­griffs­auslegung auch einem fachüblichen Gebrauch des Fachausdrucks "Elektrode".

Daher steht die Verwendung der Begriffe "Grenz­elek­trode" und "Grenz­­elek­troden­schicht" im Anspruch 1 des Hauptantrags nicht im Wider­spruch zur Angabe, dass "das galvanische Verfahren außenstrom­los durchgeführt wird".

1.2.3 Folglich ist Anspruch 1 des Hauptantrags deutlich formuliert (Artikel 84 Satz 2 EPÜ 1973).

Die abhängigen Ansprüche des Hauptantrags wur­den jedoch noch nicht durch­gängig an den während des Be­schwerde­ver­fahrens geänderten unabhängigen Anspruch 1 des Haupt­antrags angepasst.

1.3 Stützung durch die Beschreibung

1.3.1 Die Prüfungsabteilung beanstandete überdies in dem zitierten Bescheid (siehe Punkte 1.2 bis 1.7 des Bescheids), dass der damalige Anspruch 1 nicht von der Beschreibung gestützt sei, da die ein­zigen­ Bei­spiele der Anmeldung Merkmale aufwiesen, welche in dem Anspruch fehlten, ins­beson­dere die struktu­rierte Foto­lackschicht 30, die Aluminiumleitbahn 14, die Aluminium-Grenzelektrodenschicht und das (teil­weise) Zersetzen der Grenzelektrode.

1.3.2 Die Kammer stellt zunächst fest, dass ein Anspruch nicht immer alle Einzelheiten der Offenbarung enthalten muss. Er muss lediglich alle für die Erfindung wesent­lichen Merkmale enthalten, d. h. diejenigen Merkmale, welche zur Lösung der technischen Aufgabe, um die es in der Erfindung geht, erforderlich sind (siehe Recht­sprechung der Beschwerdekammern des EPA, 8. Auflage 2016, Abschnitt II.A.5.1).

Im vorliegenden Fall ist die Kammer der Ansicht, dass Anspruch 1 des Hauptantrags diejenigen Merkmale ent­hält, welche zur Lösung der Aufgabe der Erfindung, ein einfaches Verfahren zum Aufbringen von Kupfer bereit­zustellen, erforderlich sind.

Insbesondere wurde das von der Prüfungsabteilung er­wähnte Merkmal, dass die Grenzelektrode (teil­weise) zer­setzt wird, in den Anspruch 1 des Hauptantrags auf­ge­nommen. Dagegen sind die anderen genannten Merkmale für die Lösung der Aufgabe unerheblich. So wird in der Be­schrei­bung explizit erwähnt, dass sich die Metal­li­sie­rung statt in mittels der Fotolackschicht ausge­wählten Bereichen auch ganz­flächig durchführen lässt. Außerdem wird beschrieben, dass das Material der Grenz­elektrodenschicht in der elektrochemischen Spannungs­reihe lediglich ein kleineres Potential als Kupfer haben muss. Somit ist es für den Fachmann evident, dass statt Alu­minium wie beansprucht auch eine Aluminium­legierung für die Grenzelektrodenschicht verwendet werden kann. Ferner ist das Material der unter der Barriereschicht ange­siedelten Leitbahn für die Metal­lisierung der Barriereschicht bzw. Grenzelektroden­schicht unmaßgeblich.

Folglich ist die Kammer der Ansicht, dass Anspruch 1 des Hauptantrags insoweit von der Beschreibung (ein­gereicht mit Schreiben vom 20. Oktober 2011 mit Be­zeichnung "Beschrei­bung - Hauptantrag") gestützt ist, dass er die für die Erfindung wesent­lichen Merkmale enthält (Artikel 84 Satz 2 EPÜ 1973).

Die Beschreibung wurde jedoch noch ­nicht ­an die während des Be­schwerde­ver­fahrens geänderten Ansprüche­ ange­passt.

1.4 Weitere Erfordernisse des EPÜ

1.4.1 Im vorliegenden Fall wurde gemäß Regel 63 EPÜ in der zum Zeitpunkt der Recherche (20. Oktober 2009) gültigen Version ein teilweiser Recherchenbericht erstellt. Wie aus dem Ergänzungsblatt C des Recherchenberichts und der begleitenden Stellungnahme hervorgeht, war die Recherche in mehrfacher Hinsicht unvoll­ständig, da die ursprünglichen Ansprüche als derart unklar angesehen wurden, dass eine sinnvolle Recherche nicht möglich erschien.

1.4.2 Wie oben ausgeführt wurden diese Klarheits­einwände durch Ände­rungen der Ansprüche behoben oder waren ungerechtfertigt. Daher ist es nun ange­zeigt, eine zusätzliche Recherche ohne die im teil­weisen Recher­chen­bericht und der begleitenden Stellung­nahme ge­nannten Beschränkungen der Recherche durchzu­führen, um im Anschluss die Neuheit und erfinderische Tätigkeit des beanspruchten Gegenstandes prüfen zu können.

2. 1. bis 7. Hilfsantrag

Mit den Ansprüchen gemäß 1. bis 7. Hilfsantrag wird der beanspruchte Gegenstand jeweils weiter einge­schränkt. Die in Bezug auf den Hauptantrag dargelegten Aus­füh­rungen gelten entsprechend auch für den 1. bis 7. Hilfs­antrag.

3. Schlussfolgerung

Angesichts der vorstehend angeführten Erwägungen hält es die Kammer für angemessen, die Sache gemäß Artikel 111(1) EPÜ 1973 an die Prüfungsabteilung zur weiteren Entscheidung zurückzuverweisen.

4. Rückzahlung der Beschwerdegebühr

Im Schreiben vom 1. Juni 2017 beantragte die Be­schwerde­führerin ohne jegliche Substantiierung die Rückzahlung der Beschwerdegebühr.

Gemäß Regel 103(1) a) EPÜ wird die Beschwerdegebühr zurückgezahlt, wenn der Beschwerde stattgegeben wird und die Rückzahlung wegen eines wesentlichen Ver­fahrens­mangels der Billigkeit entspricht.

Ein solcher Verfahrensmangel wurde aber nicht von der Beschwerdeführerin angeführt und kann auch nicht von der Beschwerdekammer festgestellt werden. Die Rück­zahlung der Beschwerdegebühr würde daher nicht der Billigkeit entsprechen und der entsprechende Antrag ist zurückzuweisen.

Entscheidungsformel

Aus diesen Gründen wird entschieden:

1. Die angefochtene Entscheidung wird aufgehoben.

2. Die Sache wird an die Prüfungsabteilung zur weiteren Entscheidung­ zurückverwiesen.

3. Der Antrag auf Rückzahlung der Beschwerdegebühr wird zurückgewiesen.

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