European Patent Office

T 0867/94 vom 21.10.1998

Europäischer Rechtsprechungsidentifikator
ECLI:EP:BA:1998:T086794.19981021
Datum der Entscheidung
21. Oktober 1998
Aktenzeichen
T 0867/94
Online am
21. Oktober 1998
Antrag auf Überprüfung von
-
Anmeldenummer
89312274.7
IPC-Klasse
H01L 21/3105
Verfahrenssprache
Englisch
Verteilung
An die Kammervorsitzenden verteilt (C)
Amtsblattfassungen
Keine AB-Links gefunden
Weitere Entscheidungen für diese Akte
-
Zusammenfassungen für diese Entscheidung
-
Bezeichnung der Anmeldung
Method for manufacturing a semiconductor device having a phospho silicate glass layer as an interlayer insulating layer
Name des Antragstellers
Kabushiki Kaisha Toshiba
Name des Einsprechenden
-
Kammer
3.4.01
Leitsatz
-
Schlagwörter
Main request: inventive step (yes)
Orientierungssatz
-
Zitierte Akten
-
Zitierende Akten
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the department of the first instance with the order to grant a patent on the basis of the following documents according to the main request:

Claims:

No. 1 to 7, 8 (page 14) as filed with the letter of 20. October 1994, No. 8 (page 15) as filed with the letter of 16 July 1998,

Description:

Pages 1 to 3, 5, 7, 8 as originally filed, Page 4, 6, 9, 10 as filed with the letter of 16 July 1998,

Drawings:

Figures 1A, 1B, 1C, 1D, 1E, 1F as filed with the letter of 22 February 1990, Figures 2A, 2B, 2C, 2D, 2E, 3A, 3B, 4A, 4B, 5A, 5B, 5C, 6A, 6B, 6C as originally filed.