European Patent Office

T 0761/03 du 06.12.2004

Identifiant européen de la jurisprudence
ECLI:EP:BA:2004:T076103.20041206
Date de la décision
6 décembre 2004
Numéro de l'affaire
T 0761/03
En ligne le
21 janvier 2005
Requête en révision de
-
Numéro de la demande
98931533.8
Classe de la CIB
H01L 21/3213
Langue de la procédure
Anglais
Distribution
Distribuées aux présidents des chambres de recours (C)
Téléchargement
Décision en anglais
Versions JO
Aucun lien JO trouvé
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Résumés pour cette décision
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Titre de la demande
Plasma reactor for passivating a substrate
Nom du demandeur
LAM RESEARCH CORPORATION
Nom de l'opposant
-
Chambre
3.4.03
Sommaire
-
Mots-clés
Novelty: yes (after amendments)
Inventive step: yes
Exergue
-
Affaires citées
-
Affaires citantes
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the first instance with the order to grant a patent in the following version:

Claims: 1 to 7

Description: pages 1 to 3, 3a, 4 to 9, 9a and 10 to 15, both filed in the oral proceedings

Drawings: figures 1 to 6, as originally filed.