European Patent Office

T 0873/09 du 10.10.2013

Identifiant européen de la jurisprudence
ECLI:EP:BA:2013:T087309.20131010
Date de la décision
10 octobre 2013
Numéro de l'affaire
T 0873/09
En ligne le
15 octobre 2013
Requête en révision de
-
Numéro de la demande
98310071.0
Classe de la CIB
H01L 21/302
Langue de la procédure
Anglais
Distribution
Non distribuées (D)
Téléchargement
Décision en anglais
Versions JO
Aucun lien JO trouvé
Autres décisions pour cet affaire
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Résumés pour cette décision
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Titre de la demande
Semiconductor wafer processing method
Nom du demandeur
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Nom de l'opposant
-
Chambre
3.4.03
Sommaire
-
Dispositions juridiques pertinentes
European Patent Convention Art 56 1973
Mots-clés
Inventive step (yes)
Exergue
-
Affaires citées
-
Affaires citantes
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the department of first instance with the order to grant a patent in the following version:

Description:

pages 1, 2, 5, 13-16, 18, 26-29 as originally filed,

page 3, 3A filed at the oral proceedings of 2 October 2007,

page 3B, 4, 17, 33 filed with letter dated 1 October 2013,

pages 6, 11-12, 19, 30, 34 filed with letter dated 23 August 2007,

pages 7-10, 20-25, 31-32 deleted

Claims:

1-6 filed with letter dated 11 September 2013,

Drawings:

figures 1-6 as originally filed,

figures 7-10 deleted.