T 0029/94 (Bromine etch process/APPLIED MATERIALS) du 09.07.1998
- Identifiant européen de la jurisprudence
- ECLI:EP:BA:1998:T002994.19980709
- Date de la décision
- 9 juilliet 1998
- Numéro de l'affaire
- T 0029/94
- En ligne le
- 29 juilliet 1998
- Requête en révision de
- -
- Numéro de la demande
- 87311196.7
- Classe de la CIB
- H01L 21/306
- Langue de la procédure
- Anglais
- Distribution
- Distribuées aux présidents des chambres de recours (C)
- Téléchargement
- Décision en anglais
- Versions JO
- Aucun lien JO trouvé
- Autres décisions pour cet affaire
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- Résumés pour cette décision
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- Titre de la demande
- Bromine and iodine etch process for silicon and silicides
- Nom du demandeur
- Applied Materials, Inc.
- Nom de l'opposant
- -
- Chambre
- 3.4.01
- Sommaire
- -
- Dispositions juridiques pertinentes
- European Patent Convention Art 54 1973European Patent Convention Art 56 1973
- Mots-clés
- Novelty - yes (after amendments)
Inventive step - yes
Interpretation of a disclosure in the prior art - Exergue
- -
- Affaires citées
- -
- Affaires citantes
- -
ORDER
For these reasons it is decided that:
1. The decision of the Examining Division is set aside.
2. The case is remitted to the department of the first instance with the order to grant a patent with the text and drawings as specified below:
Description: pages 2 to 4, 14, 15, 18, 19 and 21 as originally filed; pages 5 to 7 filed with the letter dated 9. September 1992; pages 10, 12, 13, 16 and 17 filed with the letter dated 25. February 1993; and pages 8, 9, 11, 20, and 22 filed with the letter dated 12 September 1997; pages 1 and 23 filed with the letter dated 17 June 1998;
Claims: 6 to 11 filed with the letter dated 12. September 1997; and 1. to 5 filed with the letter dated 17. June 1998;
Drawings: Sheet 1/1 filed with the letter dated 18. January 1988