European Patent Office

T 0029/94 (Bromine etch process/APPLIED MATERIALS) du 09.07.1998

Identifiant européen de la jurisprudence
ECLI:EP:BA:1998:T002994.19980709
Date de la décision
9 juilliet 1998
Numéro de l'affaire
T 0029/94
En ligne le
29 juilliet 1998
Requête en révision de
-
Numéro de la demande
87311196.7
Classe de la CIB
H01L 21/306
Langue de la procédure
Anglais
Distribution
Distribuées aux présidents des chambres de recours (C)
Téléchargement
Décision en anglais
Versions JO
Aucun lien JO trouvé
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Résumés pour cette décision
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Titre de la demande
Bromine and iodine etch process for silicon and silicides
Nom du demandeur
Applied Materials, Inc.
Nom de l'opposant
-
Chambre
3.4.01
Sommaire
-
Mots-clés
Novelty - yes (after amendments)
Inventive step - yes
Interpretation of a disclosure in the prior art
Exergue
-
Affaires citées
-
Affaires citantes
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision of the Examining Division is set aside.

2. The case is remitted to the department of the first instance with the order to grant a patent with the text and drawings as specified below:

Description: pages 2 to 4, 14, 15, 18, 19 and 21 as originally filed; pages 5 to 7 filed with the letter dated 9. September 1992; pages 10, 12, 13, 16 and 17 filed with the letter dated 25. February 1993; and pages 8, 9, 11, 20, and 22 filed with the letter dated 12 September 1997; pages 1 and 23 filed with the letter dated 17 June 1998;

Claims: 6 to 11 filed with the letter dated 12. September 1997; and 1. to 5 filed with the letter dated 17. June 1998;

Drawings: Sheet 1/1 filed with the letter dated 18. January 1988