European Patent Office

T 0791/95 du 15.11.1999

Identifiant européen de la jurisprudence
ECLI:EP:BA:1999:T079195.19991115
Date de la décision
15 novembre 1999
Numéro de l'affaire
T 0791/95
En ligne le
6 décembre 1999
Requête en révision de
-
Numéro de la demande
90304044.2
Classe de la CIB
C23C 14/35
Langue de la procédure
Anglais
Distribution
Distribuées aux présidents des chambres de recours (C)
Téléchargement
Décision en anglais
Versions JO
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Autres décisions pour cet affaire
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Résumés pour cette décision
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Titre de la demande
Method and apparatus for sputter coating stepped wafers - case a
Nom du demandeur
Tokyo Electron Limited
Nom de l'opposant
-
Chambre
3.4.01
Sommaire
-
Dispositions juridiques pertinentes
European Patent Convention Art 56 1973
Mots-clés
Inventive step (yes)
Exergue
-
Affaires citées
-
Affaires citantes
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the department of the first instance with the order to grant a patent on the basis of the following documents:

Claims: No. 1 to 27 as filed with the letter dated 21. September 1999;

Description: pages 7, 7a, 11, 11a as filed with the letter dated 21 September 1999;

pages 1, 14, 17, 18, 21, 26, 29 to 31, 33, 34, 40, 43, 46, 48, 49, 52, 55 and 58 as filed with the letter dated 10 February 1994;

pages 2 to 6, 8 to 10, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 22 to 25, 27, 28, 32, 35 to 39, 41, 42, 44, 45, 47, 50, 51, 53, 54, 56, 57 59 and 60 as originally filed;

Drawings: Sheets 1/7 to 7/7 as originally filed.