European Patent Office

T 0076/96 du 24.07.2001

Identifiant européen de la jurisprudence
ECLI:EP:BA:2001:T007696.20010724
Date de la décision
24 juilliet 2001
Numéro de l'affaire
T 0076/96
En ligne le
1 août 2001
Requête en révision de
-
Numéro de la demande
91300566.6
Classe de la CIB
H01J 37/34
Langue de la procédure
Anglais
Distribution
Distribuées aux présidents des chambres de recours (C)
Téléchargement
Décision en anglais
Versions JO
Aucun lien JO trouvé
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Résumés pour cette décision
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Titre de la demande
Sputtering apparatus with a rotating magnet array having a geometry for specified target erosion profile
Nom du demandeur
Varian Semiconductor Equipment Associates Inc.
Nom de l'opposant
-
Chambre
3.5.02
Sommaire
-
Dispositions juridiques pertinentes
European Patent Convention Art 84 1973
Mots-clés
Clarity - (yes, after amendment)
Exergue
-
Affaires citées
-
Affaires citantes
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the department of first instance for further prosecution.