T 1854/15 27-08-2019
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Mikroskop mit erhöhter Auflösung
Erweiterung über den Inhalt der ursprünglich eingereichten Anmeldung hinaus (nein)
Ausführbarkeit der Erfindung (ja)
Erfinderische Tätigkeit (ja)
I. Die Beschwerdeführerin (Einsprechende) richtete ihre Beschwerde gegen die Zwischenentscheidung der Einspruchsabteilung, mit der unter Berücksichtigung der von der Beschwerdegegnerin (Patentinhaberin) vorgenommenen Änderungen das europäische Patent Nr. 1862839 in geänderter Form gemäß dem Hilfsantrag aufrechterhalten worden ist.
Mit dem Einspruch war das Streitpatent in vollem Umfang im Hinblick auf die Einspruchsgründe unzulässiger Erweiterung (Artikel 100 c) EPÜ), unzureichender Offenbarung (Artikel 100 b) EPÜ) und fehlender erfinderischer Tätigkeit (Artikel 100 a) EPÜ i.V.m. Artikel 56 EPÜ) angegriffen worden.
II. Folgende Dokumente wurden im erstinstanzlichen Verfahren herangezogen und von den Beteiligten im Beschwerdeverfahren wieder aufgegriffen:
D1: "Breaking Abbe's diffraction resolution limit in fluorescence microscopy with stimulated emission depletion beams of various shapes", T. A. Klar et al.; Physical Review E, Band 64 (2001); Seiten 066613-1 bis 066613-9
D2: US 2002 01 41 052 A1
D3: "Investigation of polarization effects for high-numerical-aperture first-order Laguerre-Gaussian beams by 2D scanning with a single fluorescent microbead", N. Bokor et al.; Optics Express, Band 13 (2005); Seiten 10440 bis 10447
E1: "Two-color far-fields super-resolution microscope using a doughnut beam", T. Watanabe et al.; Chemical Physical Letters, Band 371 (2003); Seiten 634 bis 639
E2: "The use of Gauss-Laguerre vector beams in STED microscopy", P. Török et al.; Optics Express, Band 12 (2004); Seiten 3605 bis 3617
E3: "Generation of a doughnut-shaped beam using a spiral phase plate", T. Watanabe et al.; Review of Scientific Instruments, Band 75 (2004); Seiten 5131 bis 5135
E4: DE 100 56 382 A1
E5: "Optik", E. Hecht; Addison-Wesley Publishing Company, 1989, 2. Nachdruck, 1992; bibliographische Seiten, und Seiten 650 und 651
E6: "Creating lambda/3 focal holes with a Mach-Zehnder interferometer", E. Engel et al.; Applied Physics B, Band 77 (2003); Seiten 11 bis 17
E7: "Fluorescence microscopy with diffraction resolution barrier broken by stimulated emission", T. A. Klar et al.; Proceedings of the National Academy of Science (PNAS, USA), Band 97 (2000); Seiten 8206 bis 8210
E8: "Progress in Stimulated Emission Depletion Microscopy", T. A. Klar; Dissertation, University of Heidelberg, Shaker Verlag, 2001; bibliographische Seiten, und Seiten 24 bis 27 und 48 bis 91
E9: DE 101 05 391 A1
E10: "Reversible single-molecule photoswitching in the GFP-like fluorescent protein Dronpa" S. Habuchi et al.; Proceedings of the National Academy of Science (PNAS, USA), Band 102 (2005); Seiten 9511 bis 9516
E11: "Photoisomerization and Photoionization of the Photoactive Yellow Protein Chromophore in Solution", D. S. Larsen et al.; Biophysical Journal, Band 86 (2004); Seiten 2538 bis 2550
E12: "New laser system for measurements of dissociation rates of small molecules with picosecond temporal resolution", R. Taddy et al.; SPIE, Band 3271 (1998); Seiten 210 bis 219
E13: DE 10 2004 032 953 A1
E14: "Stimulated emission depletion following two photon excitation" R. J. Marsh et al.; Proceedings of the SPIE, Band 4812 (2002); Seiten 45 bis 54
E15: DE 103 40 965 A1
E16: "Concepts for nanoscale resolution in fluorescence microscopy", S. W. Hell et al.; Current Opinion in Neurobiology, Band 14 (2004); Seiten 599 bis 609
E17: "Ground-state-depletion fluorescence microscopy: a concept for breaking the diffraction resolution limit", S. W. Hell et al.; Applied Physics B, Band 60 (1995); Seiten 495 bis 497
E18: "STED microscopy reveals that synaptotagmin remains clustered after synaptic vesicle exocytosis", K. I. Willig et al.; Nature, Band 440 (2006); Seiten 935 bis 939
E19: "Subdiffraction resolution in far-field fluorescence microscopy" T. A. Klar et al.; Optics Letters, Band 24 (1999); Seiten 954 bis 856
E20: "Two-point-separation in super-resolution fluorescence microscope based on up-conversion fluorescence depletion technique", T. Watanabe et al.; Optics Express Band 11 (2003); Seiten 3271 bis 3276
E21: "Lehrbuch der Experimentalphysik", H.-J. Eichler et al.; Walter de Gruyter, Band III, 8. Auflage (1987); bibliographische Seiten und Seiten 229 bis 333
E22: "Angewandte Optik und Laserphysik", C. Zimmermann, 2011; bibliographische Seite und Seiten 1 bis 113.
III. Es wurde am 27. August 2019 vor der Kammer mündlich verhandelt.
Die Beschwerdeführerin beantragte die Aufhebung der angefochtenen Entscheidung und den Widerruf des Patents.
Die Beschwerdegegnerin beantragte die Zurückweisung der Beschwerde.
Am Ende der mündlichen Verhandlung wurde die Entscheidung der Kammer verkündet.
IV. Die Ansprüche 1 und 2 gemäß dem Patent in der vor der Einspruchsabteilung geänderten Fassung (d.h. gemäß dem der angefochtenen Entscheidung zugrunde liegenden Hilfsantrag) lauten wie folgt:
"1. Mikroskop mit erhöhter Auflösung durch teilweise räumliche Überlagerung in der Beleuchtung durch einen Anregungsstrahl und einen Abregungsstrahl und/oder einen Umschaltstrahl in einer fluoreszierenden Probe, mit einem
Laser zur Erzeugung eines Anregungsstrahlengangs (AN) zur Beleuchtung der Probe (PR) und mit
einem Laser zur Erzeugung eines Abregungsstrahlengangs (AB) bzw. eines Umschaltstrahlengangs zur Beleuchtung der Probe (PR), mit einem
Scanner (SC) und mit einem
Objektiv (O), sowie mit
einem Detektor (DE) zur Detektion des Probenlichtes, wobei
der Anregungsstrahlengang (AN) und der Abregungsstrahlengang (AB) bzw. Umschaltstrahlengang über den Scanner (SC) und über das Objektiv (O) zur scannenden Abtastung der Probe (PR) verläuft,
und im Abregungsstrahlengang (AB) bzw. Umschaltstrahlengang ein Strahlteiler (ST) zur Aufspaltung des Abregungsstrahlenganges (AB) bzw. Umschaltstrahlengangs in zwei Teilstrahlengänge und ein Strahlvereiniger (SV) zur Überlagerung der aufgespalteten Teilstrahlengänge angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass
in einem der Teilstrahlengänge des Abregungsstrahlengang (AB) bzw. Umschaltstrahlengangs zur inkohärenten Überlagerung der Teilstrahlengänge eine Verlängerung (DL) des Lichtwegs angeordnet ist und sich in diesem Teilstrahlengang eine Spiralphasenmaske (SM) befindet und im anderen Teilstrahlengang des Abregungsstrahlengang (AB) bzw. Umschaltstrahlengangs eine Phasenmaske mit radialem Phasensprung (RM), oder eine Kombination (SM/RM) aus einer Phasenmaske mit radialem Phasensprung und einer Spiralphasenmaske angeordnet ist und die Masken in oder in der Nähe der Pupillenebene des Objektivs (O) liegen oder eine Pupillenoptik (PO) zur Abbildung in die Pupillenebene des Objektivs vorhanden ist."
"2. Mikroskopisches Verfahren mit erhöhter Auflösung unter Verwendung eines Mikroskops nach Anspruch 1, wobei eine fluoreszierende Probe zeitlich nacheinander mit dem Anregungsstrahl und dem Abregungsstrahl oder Umschaltstrahl beleuchtet wird."
1. Zulässigkeit der Beschwerde
Die Beschwerdeführerin hat in der Beschwerdebegründung alle Einwände, die während des erstinstanzlichen Verfahrens gegen das geänderte Patent erhoben wurden, aufrechterhalten, und zu einigen konkret in der Beschwerdebegründung vorgetragen. Die Beschwerdegegnerin hat den mangelnden Vortrag in der Beschwerdebegründung zu einigen, aber nicht zu allen in der angefochtenen Zwischenentscheidung vorgebrachten Gründen beanstandet. Die Kammer sieht aber in diesen Beanstandungen keinen Grund, die Zulässigkeit der Beschwerde in Frage zu stellen, weil eine Beschwerde - wie von der Beschwerdegegnerin in der Beschwerdeerwiderung auch eingeräumt - nicht teil(un)zulässig sein kann.
Die Beschwerde ist daher zulässig.
2. Artikel 100 c) EPÜ 1973 bzw. Artikel 123 (2) EPÜ
Die Beschwerdeführerin hat geltend gemacht, dass eine Reihe von Merkmalen der geltenden Ansprüche 1 und 2 - welche bereits in den erteilten Ansprüchen 1 und 2 enthalten waren - entgegen der Auffassung der Einspruchsabteilung in der ursprünglich eingereichten Anmeldung nicht offenbart seien.
2.1 Anspruch 1 - Merkmal "Laser zur Erzeugung eines Anregungsstrahlengangs"
2.1.1 Die Beschwerdeführerin hat geltend gemacht, dass das beanspruchte Merkmal "Laser zur Erzeugung eines Anregungsstrahlengangs" in der ursprünglich eingereichten Anmeldung nicht offenbart sei, und dass die Tatsache, dass laut ursprünglich eingereichter Anmeldung der Abregungsstrahl ein Laserstrahl sei, nicht ohne Weiteres auf den Anregungsstrahl übertragbar sei. Außerdem sei nicht jeder Laser ein hochkohärenter Laser (siehe z.B. Dokument E22, Seite 6, zweiter Absatz), sodass die Verallgemeinerung des Begriffs "hochkohärenter Laser" auf den allgemeinen Begriff "Laser" eine unzulässige Erweiterung darstelle.
2.1.2 Es ist unbestritten, dass die Passage auf Seite 4, Zeilen 3 bis 7, der ursprünglich eingereichten Anmeldung, in der auf die "verwendeten Laser" generell Bezug genommen wird, die Verwendung eines Lasers für den Abregungsstrahl offenbart. In dieser Passage wird auch ausgeführt, dass der Abregungsstrahlengang mittels eines Strahlteilers in zwei Teilstrahlengänge aufgespaltet wird und dass sich ein Delay, das für eine inkohärente Überlagerung beider Teilstrahlen sorgt, in einem der Teilstrahlengänge befindet (Fig. 1).
Die weitere Passage auf Seite 4, Zeilen 9 bis 14, offenbart, dass in Fig. 2 "ein ähnlicher Abregungsstrahlengang" wie in Fig. 1 vorliegt, und dass der "Anregungsstrahlengang [...] ebenfalls [...] in zwei Strahlengänge aufgeteilt" wird, wobei sich in einem der Teilstrahlengänge ebenfalls ein Delay befindet.
Die nachfolgende Passage auf Seite 4, Zeilen 15 und 16, der ursprünglich eingereichten Anmeldung offenbart auch, dass "[d]as Delay", das für eine inkohärente Überlagerung der Teilstrahlen sorgt, "größer als die Kohärenzlänge der Quelle sein [muss], was bei hochkohärenten Lasern nur sinnvoll mit Fasern zu lösen ist".
Ein solches Delay setzt voraus, dass das von der Quelle emittierte Licht - wie von der Beschwerdeführerin geltend gemacht - eine Kohärenzlänge aufweist, nicht aber unbedingt, dass die Quelle eine Laser-Quelle ist. Die Passage auf Seite 4, Zeilen 15 und 16, befasst sich aber - wie von der Beschwerdegegnerin ausgeführt - mit der technischen Funktion eines Delays und nach Auffassung der Kammer wird der mit Sachverstand lesende Fachmann diese Passage so verstehen, dass sich "[d]as Delay" nicht nur auf das Delay des Laser-Abregungsstrahlengangs, sondern auch auf das entsprechende Delay des Anregungsstrahlengangs bezieht. Außerdem wird der Fachmann in dem technischen Kontext der oben erwähnten Passagen bei der Lektüre der Passage auf Seite 4, Zeilen 9 bis 14 ("Der Anregungsstrahlengang AN wird ebenfalls ..."), und der Passage auf Seite 4, Zeilen 15 und 16 ("Das Delay ..."), mitlesen, dass für den Anregungsstrahl ebenfalls ein Laserstrahl verwendet wird.
Die Beschwerdeführerin hat geltend gemacht, dass sich die Passage, wonach das Delay "größer als die Kohärenzlänge der Quelle sein [muss], was bei hochkohärenten Lasern nur sinnvoll mit Fasern zu lösen ist", auf hochkohärente Laser als spezielle Ausführung einer allgemeinen Licht-Quelle und nicht als spezielle Ausführung einer Laser-Quelle bezieht. Dieser Argumentation kann nicht gefolgt werden, weil sie auf einer rein wörtlichen Auslegung der isolierten Passage ohne Rücksicht auf den entsprechenden, oben dargestellten technischen Kontext basiert.
In der ursprünglich eingereichten Anmeldung ist zwar nicht explizit beschrieben, dass der Anregungsstrahl ein Laserstrahl ist, dieses Merkmal ergibt sich aber nach Auffassung der Kammer für den Fachmann aus dem dort implizit Offenbarten.
2.1.3 Aus den obigen Ausführungen ergibt sich ebenfalls, dass der Fachmann die erwähnte Passage "Das Delay muß größer als die Kohärenzlänge der Quelle sein, was bei hochkohärenten Lasern nur sinnvoll mit Fasern zu lösen ist." nicht in dem Sinne verstehen wird, dass der Laser ein hochkohärenter Laser sein muss, sondern in dem Sinne, dass in dem Fall, dass der verwendete Laser ein hochkohärenter Laser ist, bestimmte Maßnahmen, d.h. die Verwendung von Fasern, zu ergreifen sind. Die weiteren Ausführungen in der oben erwähnten Passage auf Seite 4, Zeilen 3 bis 7, der Beschreibung, wonach bei dem Delay "die Länge der Verlängerung, ggf. über Lichtleitfasern, über der Kohärenzlänge der verwendeten Laser liegt" [Hervorhebung durch die Kammer] und "das Delay für eine inkohärente Überlagerung beider Teilstrahlen [...] sorgt", ohne jegliche ausdrückliche Einschränkung des Wertbereichs der Kohärenzlänge der Strahlen, stützen weiter diese Auslegung.
Daher stellt die Tatsache, dass der beanspruchte Gegenstand nicht auf hochkohärente Laser beschränkt ist, keine Erweiterung bzw. Verallgemeinerung des Inhalts der ursprünglich eingereichten Anmeldung dar. Dies gilt für den Abregungsstrahl wie für den Anregungsstrahl.
2.2 Anspruch 1 - Verwendung eines separaten, zweiten Lasers
2.2.1 Die Beschwerdeführerin hat geltend gemacht, dass zwei Laserstrahlen entweder von nur einer oder von zwei unterschiedlichen Laser-Quellen erzeugt werden könnten, und dass die Verwendung eines separaten, zweiten Lasers zur Erzeugung eines Abregungsstrahlengangs in der ursprünglich eingereichten Anmeldung nicht offenbart sei. Insbesondere offenbarten Fig. 1 und 2 der ursprünglich eingereichten Anmeldung einen Anregungs- und einen Abregungsstrahlengang, aber keine Lichtquelle. Außerdem müsse Licht unterschiedlicher Wellenlängen nicht zwingend aus unterschiedlichen Lichtquellen stammen, weil eine einzige Laser-Quelle zusammen mit einem Element zur Manipulation der Wellenlänge eines Teils des emittierten Lichtes zur Erzeugung des Anregungs- und des Abregungslichtes benutzt werden könne, wie es z.B. in den Dokumenten D1 (Fig. 1), D2 (Fig. 5 und 15), E7 (Fig. 1) und E8 (Fig. 2.8) gezeigt werde.
2.2.2 Die Beschwerdegegnerin hat beantragt, diesen Einwand im Beschwerdeverfahren nicht zu berücksichtigen, weil er erstmalig in der Beschwerdebegründung aufgeworfen worden sei.
Der Einwand wurde aber - wie von der Beschwerdeführerin geltend gemacht - zumindest in der angefochtenen Entscheidung (vgl. Nr. 4.5.1 der Entscheidungsgründe, zweiter Satz) bereits explizit erwähnt. Daher sieht die Kammer keinen Grund, der eine Nichtberücksichtigung dieses Einwands im Beschwerdeverfahren rechtfertigen würde.
2.2.3 Die Argumentation der Beschwerdeführerin basiert auf einer Auslegung der beanspruchten Merkmale "Laser zur Erzeugung eines Anregungsstrahlengangs" und "Laser zur Erzeugung eines Abregungsstrahlengangs" in dem Sinne, dass unterschiedliche primäre Laser-Quellen, insbesondere unterschiedliche Laser-Resonatoren, für die Erzeugung des Anregungs- und des Abregungsstrahles erforderlich sind. Die beanspruchte Funktion der in Anspruch 1 definierten "Laser" ist aber die Erzeugung der entsprechenden Strahlengänge. Nach Auffassung der Kammer wird der fachkundige Leser den Begriff "Laser" in diesem technischen Kontext nicht als die primäre Quelle eines Laser-Lichtstrahls, sondern vielmehr - wie in der mündlichen Verhandlung erörtert - als Mittel zur Erzeugung und Einstellung eines Laser-Lichtstrahls, der wiederum den beanspruchten Abregungs- bzw. Anregungsstrahlengang erzeugt, auslegen, und zwar unabhängig davon, ob die beanspruchten "Laser" - d.h. die erwähnten Mittel - zwei unterschiedliche primäre Laser-Quellen bzw. Resonatoren oder - wie es in Dokument D1 (Fig. 1 und Seite 066613-3, linke Spalte, Abschnitt "SETUP", Zeilen 1 bis 7), D2 (Fig. 5 i.V.m. Absatz [0067], und Fig. 15 i.V.m. Absatz [0026]), E7 (Fig. 1 und Seite 8206, der die beiden Spalten überbrückende Absatz) und E8 (Fig. 2.8 und die entsprechende Beschreibung) der Fall ist - eine einzige primäre Laser-Quelle zur Erzeugung eines ersten Laserstrahls zusammen mit einem Oszillator zur Erzeugung des zweiten Laserstrahls durch Konvertierung bzw. Manipulation eines Teils des ersten Laserstrahls aufweisen. Daraus folgt, dass Anspruch 1 - entgegen der Auffassung der Beschwerdeführerin - die Verwendung von separaten primären Laser-Quellen zur Erzeugung des Anregungs- und des Abregungsstrahlengangs nicht erfordert.
Der Anregungsstrahl und der Abregungsstrahl haben unterschiedliche Funktionen (siehe z.B. Anspruch 1 in der ursprünglich eingereichten Fassung, Zeilen 1 bis 3), insbesondere - wie von der Beschwerdegegnerin während der mündlichen Verhandlung ausgeführt - unterschiedliche Wellenlängen. Außerdem zeigen sowohl Fig. 1 als auch Fig. 2 der ursprünglich eingereichten Anmeldung - wenn auch nur schematisch - einen Anregungsstrahlengang und einen Abregungsstrahlengang mit unterschiedlichen Eingängen. Nach Auffassung der Kammer wird der Fachmann auf dem hier relevanten technischen Gebiet daraus ohne Weiteres entnehmen, dass getrennte bzw. separate Laser - d.h. Laser-Mittel in dem oben dargelegten Sinne - zur Erzeugung des Ab- und des Anregungsstrahls verwenden werden.
2.2.4 Der Gegenstand des Anspruchs 1 geht daher in Bezug auf die beanspruchten Laser zur Erzeugung des Anregungs- und des Abregungsstrahlengangs nicht über den Offenbarungsgehalt der ursprünglichen Anmeldung hinaus.
2.3 Anspruch 1 - "Oder"-Verknüpfungen
2.3.1 Die Beschwerdeführerin hat auch vorgebracht, dass folgende Merkmalskombinationen des Anspruchs 1 über den Inhalt der ursprünglich eingereichten Anmeldung hinausgingen:
a) Kombination des Merkmals, wonach die Masken in der Pupillenebene des Objektivs oder in der Nähe der Pupillenebene des Objektivs liegen, mit den übrigen Merkmalen des Anspruchs, insbesondere in der beanspruchten Variante, wonach eine Phasenmaske mit radialem Phasensprung in einem Teilstrahlengang des Abregungsstrahlengangs angeordnet ist; und
b) das Weglassen der Verwendung einer Radialmaske in einem Teilstrahlengang des aufgespalteten Anregungsstrahlengangs (vgl. Fig. 2 und die entsprechende Beschreibung) in der beanspruchten Variante betreffend die Kombination aus einer Radialmaske und einer Spiralmaske.
2.3.2 Die Beschwerdegegnerin hat beantragt, das Vorbringen der Beschwerdeführerin zu diesen Einwänden nicht in das Beschwerdeverfahren zuzulassen, und zur Stützung dieses Antrags geltend gemacht, dass
- die spezifischen Einwände der Beschwerdeführerin erst in der Beschwerdebegründung vorgetragen worden seien, und
- das Vorbringen sich nahezu wortidentisch in dem Text der Nummer 1.5 der Einspruchsschrift, ergänzt um den Text der Nummer 1f des Schriftsatzes vom 14. November 2014, erschöpfe, sodass die Ausführungen der Beschwerdeführerin nicht erkennen ließen, warum die Auffassung der Einspruchsabteilung zu diesen Einwänden nicht korrekt sei.
Die Beschwerdegegnerin hat auch vorgetragen, dass die Beschwerdeführerin diese Angriffe in der erstinstanzlichen mündlichen Verhandlung nicht mehr verfolgt, also fallengelassen habe, und dass sie keine Gründe angegeben habe, warum sie sie im Beschwerdeverfahren wieder einführen möchte.
Nach der Auffassung der Kammer sind die Ausführungen der Beschwerdegegnerin, wenn schon nicht widersprüchlich, dann zumindest nicht hinreichend, um eine Nichtberücksichtigung der Einwände der Beschwerdeführerin zu rechtfertigen, u.a. weil sich die angefochtene Entscheidung mit den entsprechenden Einwänden auseinandergesetzt hat (vgl. Entscheidungsgründe, Nr. 4.3 und 4.4).
2.3.3 Die ursprünglich eingereichte Anmeldung offenbart ausdrücklich, dass die beanspruchten Masken ("SM" und "RM"), insbesondere die Phasenmaske mit radialem Phasensprung des Abregungsstrahlengangs ("RM" in Fig. 1), in der Pupillenebene des Objektivs liegen (siehe die Passage auf Seite 2, Zeilen 10 bis 12: "[...] mit Spiralphase in Pupille [...] mit Radialphase in Pupille"; siehe auch den ursprünglichen abhängigen Anspruch 2) bzw. in die Objektivpupille abgebildet werden (siehe die Passage auf Seite 4, Zeilen 4 bis 8: "Der eine Strahlengang [...] enthält SM, der andere enthält RM [...]. Über die Optik PO werden die Masken in die oder in die Nähe einer Objektivpupille abgebildet."; siehe auch den ursprünglichen abhängigen Anspruch 4). Daher sieht die Kammer in Bezug auf den Einwand a) keine Veranlassung, der diesbezüglichen Schlussfolgerung der Einspruchsabteilung, dass hier keine unzulässige Erweiterung vorliege, nicht zu folgen.
Dem weiteren Argument der Beschwerdeführerin, wonach die erwähnte Passage auf Seite 2, Zeilen 11 und 12 der ursprünglich eingereichten Anmeldung eine Überlagerung der abgebildeten Masken in der Pupille, nicht jedoch die Positionierung der Masken in der Pupille offenbare, kann nicht gefolgt werden, weil die Passage eine "Überlagerung einer Verteilung mit Spiralphase in Pupille mit einer mit Radialphase in Pupille" [Hervorhebung durch die Kammer], und nicht eine Überlagerung in Pupille der Verteilung mit Spiralphase mit der Verteilung mit Radialphase offenbart.
2.3.4 Hinsichtlich des Einwands b) ist darauf hinzuweisen, dass sich der Gegenstand des Anspruch 1 in erster Linie - wie von der Beschwerdegegnerin geltend gemacht - auf den ursprünglich eingereichten Anspruch 1 stützt, in dem die Verwendung einer Kombination aus einer Phasenmaske mit radialem Phasensprung und einer Spiralphasenmaske (siehe ursprüngliche abhängige Ansprüche 5 und 6) in dem Abregungsstrahlengang im Allgemeinen offenbart ist, d.h. ohne dass eine Radialmaske in dem Anregungsstrahlengang verwendet wird. Auch wenn der ursprüngliche Anspruch 1 die Erfindung nur generell definiert, kann dem Argument der Beschwerdeführerin, wonach der ursprüngliche Anspruch 1 aufgrund seiner breiten Formulierung keine Basis für die vorgenommenen Änderungen sei, nicht gefolgt werden.
In der Beschreibung der ursprünglich eingereichten Anmeldung wird zwar ausgeführt, dass bei der Verwendung einer Kombination aus einer Phasenmaske mit radialem Phasensprung und einer Spiralphasenmaske in einem Teilstrahlengang des aufgespalteten Abregungsstrahlengangs (SM/RM in Fig. 2) zusammen mit einer Radialmaske (RM in Fig. 2) in einem Teilstrahlengang des aufgespalteten Anregungsstrahlengangs (Seite 2, Zeilen 13 bis 16, und Seite 4, Zeilen 9 bis 11) eine bestimmte technische Wirkung erzielt wird (Seite 5, Zeilen 14 bis 16, und Seite 6, Zeilen 2 bis 15, i.V.m. Fig. 6 und Fig. 7a)). Die erwähnte Anordnung und die damit erzielte Wirkung betreffen aber nur die Ausführung gemäß der Fig. 2, und in der ursprünglichen Beschreibung werden sowohl diese Ausführung als auch die Ausführung gemäß der Fig. 1 nur als Ausführungsbeispiele bzw. als besondere Ausführungen (siehe "Folgende Realisierungen erfolgen erfindungsgemäss" auf Seite 2, Zeile 9) dargestellt.
Außerdem ist die Erfindung in der ursprünglich eingereichten Anmeldung darauf gerichtet, eine aus der Überlagerung des Anregungs- und des Abregungsstrahls resultierende Verteilung "vergleichsweise einfach und mit hoher Effizienz (gegeben durch die Steilheit der Gradienten der Verteilung) [zu] erzeugen" (Seite 2, Zeilen 1 bis 3; siehe auch Seite 1, zweiter Absatz), und dieses Ziel wird bereits durch die Verwendung einer Kombination aus einer Phasenmaske mit radialem Phasensprung und einer Spiralphasenmaske in den Teilstrahlengängen des Abregungsstrahlengangs erreicht, siehe Fig. 4c) bzw. 5c) i.V.m. der entsprechenden Beschreibung.
2.3.5 Der Gegenstand des Anspruchs 1 geht daher in Bezug auf die oben erwähnten Merkmalskombinationen a) und b) nicht über den Offenbarungsgehalt der ursprünglichen Anmeldung hinaus.
2.4 Anspruch 1 - Phasenmaske mit radialem Phasensprung
Die Beschwerdeführerin hat geltend gemacht, dass in der ursprünglich eingereichten Anmeldung kein Mikroskop offenbart sei, bei dem in einem Teilstrahlengang des Abregungsstrahlengangs eine Phasenmaske mit radialem Phasensprung oder eine Kombination aus einer Phasenmaske mit radialem Phasensprung und eine Spiralphasenmaske angeordnet sei. Sie hat auch geltend gemacht, dass in der ursprünglich eingereichten Anmeldung dabei eine Radialmaske verwendet werde, und dass eine Radialmaske keine Phasenmaske mit radialem Phasensprung darstelle.
Aus diesen Gründen wird entschieden:
Die Beschwerde wird zurückgewiesen.