European Patent Office

T 0183/04 vom 03.03.2005

Europäischer Rechtsprechungsidentifikator
ECLI:EP:BA:2005:T018304.20050303
Datum der Entscheidung
3. März 2005
Aktenzeichen
T 0183/04
Antrag auf Überprüfung von
-
Anmeldenummer
97934054.4
IPC-Klasse
C23C 16/44
Verfahrenssprache
Englisch
Verteilung
Nicht verteilt (D)
Amtsblattfassungen
Keine AB-Links gefunden
Weitere Entscheidungen für diese Akte
-
Zusammenfassungen für diese Entscheidung
-
Bezeichnung der Anmeldung
Plasma Chamber with separate process gas and cleaning gas injection ports
Name des Antragstellers
LAM RESEARCH CORPORATION
Name des Einsprechenden
-
Kammer
3.2.07
Leitsatz
-
Schlagwörter
Extension beyond content of application as filed (no, after amendment)
Claim - formulation to include all essential features (yes, after amendment)
Remittal to first instance for further prosecution
Orientierungssatz
-
Zitierende Akten
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the first instance for further prosecution on the basis of:

claim 1 as filed at the oral proceedings claims 2 to 8 and 9 (part) as filed on 22 January 2002 and claims 9 (part), and 10 to 13 as filed on 15 December 2000.