European Patent Office

T 0564/05 vom 09.01.2008

Europäischer Rechtsprechungsidentifikator
ECLI:EP:BA:2008:T056405.20080109
Datum der Entscheidung
9. Januar 2008
Aktenzeichen
T 0564/05
Antrag auf Überprüfung von
-
Anmeldenummer
96936061.9
IPC-Klasse
H01L 21/68
Verfahrenssprache
Englisch
Verteilung
An die Kammervorsitzenden verteilt (C)
Amtsblattfassungen
Keine AB-Links gefunden
Weitere Entscheidungen für diese Akte
-
Zusammenfassungen für diese Entscheidung
-
Bezeichnung der Anmeldung
Electrostatic clamping method and apparatus for dielectric workpieces in vacuum processors
Name des Antragstellers
LAM RESEARCH CORPORATION
Name des Einsprechenden
-
Kammer
3.4.03
Leitsatz
-
Schlagwörter
Inventive step (no)
Remittal to examining division (no)
Orientierungssatz
See reasons 3 and 4
Zitierte Akten
G 0010/93
Zitierende Akten
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

The appeal is dismissed.