European Patent Office

T 0883/07 vom 22.11.2007

Europäischer Rechtsprechungsidentifikator
ECLI:EP:BA:2007:T088307.20071122
Datum der Entscheidung
22. November 2007
Aktenzeichen
T 0883/07
Antrag auf Überprüfung von
-
Anmeldenummer
00926042.3
IPC-Klasse
H01L 21/66
Verfahrenssprache
Englisch
Verteilung
Nicht verteilt (D)
Amtsblattfassungen
Keine AB-Links gefunden
Weitere Entscheidungen für diese Akte
-
Zusammenfassungen für diese Entscheidung
-
Bezeichnung der Anmeldung
Method and apparatus for run-to-run controlling of overlay registration
Name des Antragstellers
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Name des Einsprechenden
-
Kammer
3.4.03
Leitsatz
-
Schlagwörter
Unity of invention
Reimbursement of appeal fee (yes)
Orientierungssatz
-
Zitierte Akten
G 0002/92
Zitierende Akten
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the department of first instance for further prosecution.

3. The appeal fee is reimbursed.