European Patent Office

T 2287/10 vom 24.11.2015

Europäischer Rechtsprechungsidentifikator
ECLI:EP:BA:2015:T228710.20151124
Datum der Entscheidung
24. November 2015
Aktenzeichen
T 2287/10
Antrag auf Überprüfung von
-
Anmeldenummer
01935277.2
IPC-Klasse
H01L 21/66
Verfahrenssprache
Englisch
Verteilung
Nicht verteilt (D)
Amtsblattfassungen
Keine AB-Links gefunden
Weitere Entscheidungen für diese Akte
-
Zusammenfassungen für diese Entscheidung
-
Bezeichnung der Anmeldung
METHOD AND APPARATUS FOR USING SCATTEROMETRY TO PERFORM FEEDBACK AND FEED-FORWARD CONTROL
Name des Antragstellers
ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
Name des Einsprechenden
-
Kammer
3.4.03
Leitsatz
-
Schlagwörter
Amendments - intermediate generalisation
Amendments - added subject-matter (yes)
Amendments - all requests
Orientierungssatz
-
Zitierte Akten
G 0002/10
Zitierende Akten
-

Order

For these reasons it is decided that:

The appeal is dismissed.