T 0242/98 vom 04.04.2001
- Europäischer Rechtsprechungsidentifikator
- ECLI:EP:BA:2001:T024298.20010404
- Datum der Entscheidung
- 4. April 2001
- Aktenzeichen
- T 0242/98
- Online am
- 12. April 2001
- Antrag auf Überprüfung von
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- Anmeldenummer
- 94117007.8
- IPC-Klasse
- H01L 21/00B08B 3/04B08B 3/08
- Verfahrenssprache
- Deutsch
- Verteilung
- An die Kammervorsitzenden verteilt (C)
- Download
- Entscheidung auf Deutsch
- Amtsblattfassungen
- Keine AB-Links gefunden
- Weitere Entscheidungen für diese Akte
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- Zusammenfassungen für diese Entscheidung
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- Bezeichnung der Anmeldung
- Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von scheibenförmigen Werkstücken mit einer Flüssigkeit
- Name des Antragstellers
- Wacker-Siltronic Gesellschaft für Halbleitermaterialien
- Name des Einsprechenden
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- Kammer
- 3.2.03
- Leitsatz
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- Relevante Rechtsnormen
- European Patent Convention Art 54 1973
- Schlagwörter
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- Orientierungssatz
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- Zitierte Akten
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- Zitierende Akten
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ENTSCHEIDUNGSFORMEL
Aus diesen Gründen wird entschieden:
Die Beschwerde wird zurückgewiesen.