T 0564/05 du 09.01.2008
- Identifiant européen de la jurisprudence
- ECLI:EP:BA:2008:T056405.20080109
- Date de la décision
- 9 janvier 2008
- Numéro de l'affaire
- T 0564/05
- Requête en révision de
- -
- Numéro de la demande
- 96936061.9
- Classe de la CIB
- H01L 21/68
- Langue de la procédure
- Anglais
- Distribution
- Distribuées aux présidents des chambres de recours (C)
- Téléchargement
- Décision en anglais
- Versions JO
- Aucun lien JO trouvé
- Autres décisions pour cet affaire
- -
- Résumés pour cette décision
- -
- Titre de la demande
- Electrostatic clamping method and apparatus for dielectric workpieces in vacuum processors
- Nom du demandeur
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Nom de l'opposant
- -
- Chambre
- 3.4.03
- Sommaire
- -
- Dispositions juridiques pertinentes
- European Patent Convention Art 52(1)European Patent Convention Art 52(1) 1973European Patent Convention Art 56European Patent Convention Art 56 1973
- Mots-clés
- Inventive step (no)
Remittal to examining division (no) - Exergue
- See reasons 3 and 4
- Affaires citées
- G 0010/93
- Affaires citantes
- -
ORDER
For these reasons it is decided that:
The appeal is dismissed.