European Patent Office

T 0564/05 du 09.01.2008

Identifiant européen de la jurisprudence
ECLI:EP:BA:2008:T056405.20080109
Date de la décision
9 janvier 2008
Numéro de l'affaire
T 0564/05
Requête en révision de
-
Numéro de la demande
96936061.9
Classe de la CIB
H01L 21/68
Langue de la procédure
Anglais
Distribution
Distribuées aux présidents des chambres de recours (C)
Téléchargement
Décision en anglais
Versions JO
Aucun lien JO trouvé
Autres décisions pour cet affaire
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Résumés pour cette décision
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Titre de la demande
Electrostatic clamping method and apparatus for dielectric workpieces in vacuum processors
Nom du demandeur
LAM RESEARCH CORPORATION
Nom de l'opposant
-
Chambre
3.4.03
Sommaire
-
Mots-clés
Inventive step (no)
Remittal to examining division (no)
Exergue
See reasons 3 and 4
Affaires citées
G 0010/93
Affaires citantes
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

The appeal is dismissed.