European Patent Office

T 0183/04 du 03.03.2005

Identifiant européen de la jurisprudence
ECLI:EP:BA:2005:T018304.20050303
Date de la décision
3 mars 2005
Numéro de l'affaire
T 0183/04
Requête en révision de
-
Numéro de la demande
97934054.4
Classe de la CIB
C23C 16/44
Langue de la procédure
Anglais
Distribution
Non distribuées (D)
Téléchargement
Décision en anglais
Versions JO
Aucun lien JO trouvé
Autres décisions pour cet affaire
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Résumés pour cette décision
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Titre de la demande
Plasma Chamber with separate process gas and cleaning gas injection ports
Nom du demandeur
LAM RESEARCH CORPORATION
Nom de l'opposant
-
Chambre
3.2.07
Sommaire
-
Mots-clés
Extension beyond content of application as filed (no, after amendment)
Claim - formulation to include all essential features (yes, after amendment)
Remittal to first instance for further prosecution
Exergue
-
Affaires citantes
-

ORDER

For these reasons it is decided that:

1. The decision under appeal is set aside.

2. The case is remitted to the first instance for further prosecution on the basis of:

claim 1 as filed at the oral proceedings claims 2 to 8 and 9 (part) as filed on 22 January 2002 and claims 9 (part), and 10 to 13 as filed on 15 December 2000.