T 0856/91 08-10-1992
Download und weitere Informationen:
Drucksensor
Erfinderische Tätigkeit ja
Rückzahlung der Beschwerdegebühr: nein
Inventive step (yes)
Reimbursement of the appeal fee (no)
Disclosure of the invention (yes)
Reasoned decision (yes)
I. Die Beschwerdeführerin ist Patentinhaberin des erteilten europäischen Patents Nr.0 088 270 (Anmeldenummer 83 101 608.4).
II. Patentanspruch 1 hat folgenden Wortlaut:
"1. Drucksensor mit einem Gehäuse (17, 17a, 32), in dessen Achse nahe beieinander hintereinander angeordnet sind
a) eine einem Meßdruck ausgesetzte Membrandose (10, 10a, 33), deren eine Wand einen Permanentmagneten (12, 35) trägt,
b) ein Hallelement,
c) das Hallelement auf einer Substratplatte (14, 14a, 34) angeordnet ist, die einen Hybridschaltkreis mit Dickschichtwiderständen sowie einen Differenzverstärker (16, 37) trägt, gekennzeichnet durch die Merkmale:
d) das Hallelement ist ein GaAs-Hall-Element (13, 36),
e) die Dickschichtwiderstände (15a, 15b, 38) haben unterschiedliche Temperaturkoeffizienten,
f) die Substratplatte (14, 14a, 34) begrenzt ein Ende des Gehäuses (17, 17a, 32)."
Patentansprüche 2 und 3 sind abhängige Patentansprüche.
III. Die Beschwerdegegnerin (Einsprechende) hat Einspruch gegen die Patenterteilung wegen mangelnder erfinderischer Tätigkeit des Gegenstands des Patentanspruchs 1 erhoben im Hinblick u. a. auf folgende Entgegenhaltungen:
E1 DE-A-2 946 515,
E2 Siemens Components, Band 18, 1980, Heft 5, Seite 271 und
E3 DE-A-2 842 140.
IV. Das Patent wurde von der Einspruchsabteilung widerrufen. Der Widerruf wurde wie folgt begründet. Da der Drucksensor gemäß E1 eine starke Temperaturabhängigkeit aufweise, bestehe die zu lösende technische Aufgabe der Erfindung darin, einen Drucksensor herzustellen, dessen Ausgangssignal weitgehend temperaturunabhängig sei; dabei hätten namhafte Fachleute auf dem Gebiet der Drucksensoren die Verwendung von handelsüblichen Dünnschicht- oder Dickschichtwiderständen zur Kompensation von Temperatureinflüssen und zur Erhöhung des druckabhängigen Signals gekannt und solche Widerstandsbauelemente mit unterschiedlichen Temperatur- und Druckkoeffizienten beschrieben; wenn daher zum Zeitpunkt der Anmeldung der Fachmann den aus E1 bekannten Sensor mit den Merkmalen (a), (b) und (c) aufgabengemäß zu verbessern gehabt hätte, so hätte er die Erkenntnisse aus E2, d. h. die Merkmale (d) und (e), aufgrund seiner allgemeinen Fachkenntnisse als wirksam ausfindig machen und nicht außer Acht lassen können, daß die Aufgabe noch besser zu lösen sei, wenn er dabei die Erkenntnisse aus E3, d. h. das Merkmal (f), anwenden würde.
V. Gegen diese Entscheidung hat die Beschwerdeführerin Beschwerde eingelegt. Sie beantragte die Aufhebung der angefochtenen Entscheidung und die Aufrechterhaltung des Patents sowie die Rückzahlung der Beschwerdegebühr.
Außerdem stellte sie hilfsweise einen Antrag auf mündliche Verhandlung.
VI. Die Beschwerdegegnerin hat die Zurückweisung der Beschwerde und, hilfsweise, eine mündliche Verhandlung, beantragt.
VII. Es wurde mündlich verhandelt.
VIII. Die Beschwerdeführerin hat ihre Anträge auf folgende Argumente gestützt.
Aus E1 sei lediglich ein Drucksensor mit den drei Merkmalen (a), (b) und (c) bekannt; das Element (5) von Fig. 3, welches das Hallelement (3) trägt, sei keine Substratplatte im Sinne des Streitpatents, sondern das Gehäuse, wie aus den anderen Teilen der Entgegenhaltung hervorgehe. Zwar sei aus E2 ein GaAs-Hallelement bekannt und E3 enthalte auch den Hinweis, daß eine Temperaturkompensation für Drucksensoren notwendig sei; jedoch sei dem Stand der Technik nicht zu entnehmen, daß diese Temperaturkompensation eine vollkommene Temperaturgangkompensation sei, die durch abgleichbaren Widerstände mit unterschiedlichen Temperaturkoeffizienten zu realisieren sei. Daher sei diese besondere Kombination von Merkmalen erfinderisch.
Die Einspruchsabteilung habe das Patent aufgrund eines von der Patentinhaberin nicht nachvollziehbaren Fachwissens widerrufen, das an keiner Stelle belegt wurde und zu welchem die Patentinhaberin keine Möglichkeit gehabt habe, Stellung zu nehmen; insbesondere sei kein Bescheid mit einer Zusammenfassung aller Gründe, die der Aufrechterhaltung des Patents entgegenstehen, ergangen; außerdem sei ihr eine Eingabe der Einsprechenden erst nach der Zustellung des Beschlusses übermittelt worden, wobei sie den Eindruck habe, daß sich die Einspruchsabteilung von den in dieser Eingabe gemachten Aussagen zum Merkmal (f) habe leiten lassen, zu der sie aber selbst nicht mehr Stellung nehmen konnte; daher bestehe ein Verstoß sowohl gegen die Begründungspflicht als auch gegen die Vorschrift über rechtliches Gehör; folglich sei eine Rückzahlung der Beschwerdegebühr begründet.
IX. Die Beschwerdegegnerin hat ihren Antrag auf folgende Argumente gestützt.
Da der Drucksensor gemäß E1 außer den Merkmalen (a), (b) und (c) zusätzlich eine Substratplatte (5), die ein Ende des Gehäuses begrenzt, enthalte, sei das Merkmal (f) auch bekannt; dies treffe auch zu, wenn das Element (5) lediglich Träger einer eigentlichen Substratplatte (16) wäre, weil die beide Funktionen dieses Doppelelements (5, 16), das das Hallelement trägt und ein Ende des Gehäuses (5) zuschließt, den Funktionen der bestrittenen Substratplatte entsprächen.
Außerdem sei aus E2 ein GaAs-Hall-Effekt-Positionssensor bekannt, der für die Positionserfassung von beweglichen Magneten für die Messung des Membranweges in Druckdosen geeignet sei und angewendet werden könne, und aus E3 sei die Notwendigkeit einer Temperaturkompensation bei Drucksensoren dieses Typs bekannt.
Da E1 auf abgleichbare Widerstände hinweise und es allgemein bekannt sei, daß die Temperaturkoeffiziente von Widerständen in der Regel unterschiedlich seien, und da dem Streitpatent keine besondere Angaben über diese Unterschiede zu entnehmen seien, sei anzunehmen, daß das Abgleichverfahren von E1 auch Widerstände mit unterschiedlichen Temperaturkoeffizienten ergebe; außerdem sei ein Abgleichverfahren im allgemeinen nicht zur Einstellung eines Arbeitspunkts oder einer Kennlinie für eine einzige Temperatur, sondern für den ganzen Arbeitstemperaturbereich einer Vorrichtung bestimmt, und daher unterscheide sich eine Temperaturkompensation von einer vollkommenen Temperaturgangkompensation bei verschiedenen Temperaturen nicht. Deshalb habe die Kombination der Merkmale aus E1, E2 und E3 nahegelegen.
1. Die Beschwerde ist zulässig.
2. Ausführbarkeit der Erfindung
2.1. In Bezug auf das Merkmal (e) des strittigen Patentanspruchs, daß die Dickschichtwiderstände unterschiedliche Temperaturkoeffizienten haben, hat die Beschwerdegegnerin vorgebracht, daß die Lehre, wie die Temperaturkoeffizienten beschaffen sein müssen, um die Temperaturabhängigkeit des beanspruchten Drucksensors beheben zu können, weder dem Streitpatent noch den sonstigen Ausführungen der Patentinhaberin zu entnehmen sei, und daß es allgemein bekannt sei, daß die Temperaturkoeffienten von verschiedenen Widerständen sich üblicherweise unterscheiden. Es ist jedoch anzumerken, daß das Streitpatent (siehe Spalte 1, Zeile 58 bis Spalte 2, Zeile 4; Spalte 3, Zeilen 8 bis 13 und 32 bis 37) angibt, daß der Temperaturgang des magnetempfindlichen Elements durch den Ausbau der integrierten Auswerteschaltung kompensiert werden soll, daß weiterhin durch Abgleich der Dickschichtwiderstände die Kennlinie des Drucksensors eingestellt werden kann, beispielweise bei verschiedenen Temperaturen, so daß eine vollkommene Temperaturgangkompensation möglich ist, und daß die verschiedenen Dickschichtwiderstände des Drucksensors einen unterschiedlichen Temperaturkoeffizient aufweisen sollen, so daß sich der jeweilige Widerstand der Dickschichtwiderstände bei Änderung der Temperatur unterschiedlich verhalten soll.
Nach Auffassung der Kammer offenbart daher das Streitpatent, durch diesen Hinweis auf eine vollkommene Temperaturgangkompensation mit Einstellung bei verschiedenen Temperaturen, die Erfindung so deutlich und vollständig, daß der Fachmann sie ausführen kann (Art. 83 EPÜ).
3. Neuheit
3.1. Dem Stand der Technik ist kein Drucksensor, der sämtliche Merkmale des Gegenstands des strittigen Patentanspruchs 1 aufweist, zu entnehmen.
Daher ist dieser Gegenstand neu im Sinne des Artikels 54 EPÜ.
4. Nächstkommender Stand der Technik
4.1. Die Merkmale (a), (b) und (c) des strittigen Patentanspruchs 1 sind E1 zu entnehmen; der aus E1 (siehe Seite 3, ersten Paragraph bis Seite 6, letzten Paragraph; Fig. 3) bekannte Drucksensor ist mit einem Gehäuse versehen, in dessen Achse nahe beieinander hintereinander
a) eine einem Meßdruck ausgesetzte Membrandose (1), deren eine Wand einen Permanentmagneten (2) trägt, und
b) ein Hall-Element (3), angeordnet sind;
c) außerdem ist das Hall-Element (3) auf einer Substratplatte angeordnet, die Schaltungselemente und Widerstände trägt.
4.2. Die Beschwerdegegnerin hat das Argument vorgebracht, daß sich auch das Merkmal (f) des strittigen Patentanspruchs, daß die Substratplatte ein Ende des Gehäuses begrenzt, aus E1, und insbesondere aus dem Anspruch 7, herleiten läßt. Nach dem Streitpatent (siehe Spalte 1, Zeilen 58 bis 63; Spalte 2, Zeilen 47 bis 61; Spalte 3, Zeilen 4 bis 8) ist ein GaAs-Hall-Element raumfest auf der Substratplatte, die weiterhin einen Hybridschaltkreis, bestehend aus Dickschichtwiderständen sowie wenigstens einem integrierten Differenzverstärker trägt, angeordnet, wobei auch noch ein elektrischer Anschluß für den Hybridschaltkreis auf der Substratplatte vorgesehen ist. E1 sind in Bezug auf das Element (5), das das Gehäuse des Ausführungsbeispiels nach Fig. 3 begrenzt, keine Merkmale zu entnehmen, die erkennen ließen, daß es als Substratplatte eines integrierten Schaltkreises und eines GaAs-Hall-Elements im Sinne des Streitpatents geeignet sei. Wie von der Beschwerdeführerin glaubhaft vorgetragen, weist das Bezugszeichen (5) in den anderen Beispielen von E1 (vgl. Seite 4, letzten Absatz; Fig. 1 und 2) auf ein Gehäuse hin, an dessen einem Ende eine mit Durchbrüchen versehenen Traghaube (4) befestigt ist, auf der weiter das Hallelement (3) befestigt ist; E1 ist nicht zu entnehmen, daß das nicht näher erwähnte Element (5) der Fig. 3 ein Element sei, das sich von einem Teil des Gehäuses unterscheiden würde. Daher ist die Kammer der Meinung, daß sich aus E1 (siehe auch Seite 6, ersten und zweiten Absatz) nicht die Begrenzungsplatte (5), sondern nur die Hybridplatte (16) des IC, die auch in Bezug auf das Ausführungsbeispiel von Fig. 1 auf Seite 4, im letzten Satz, als Keramikplättchen (16) definiert ist, als eine Substratplatte im Sinne des Streitpatents herleiten läßt, und daß daher E1 das Merkmal (f) nicht aufweist.
4.3. Die Merkmale des Gegenstands des strittigen Patentanspruchs 1, daß d) das Hall-Element ein GaAs-Hall- Element ist, und daß e) die Dickschichtwiderstände unterschiedliche Temperaturkoeffizienten haben, sind E1 auch nicht zu entnehmen.
4.4. Da den weiteren Entgegenhaltungen nur isolierte Merkmale des strittigen Gegenstands zu entnehmen sind, entspricht E1 dem am nächstkommenden Stand der Technik.
5. Erfinderische Tätigkeit
5.1. E1 gehört zum technischen Gebiet der Drucksensoren, bei denen sich durch den zu meßenden Druck eine Änderung des Abstands zwischen einem Magneten und einem Hall-Element und folglich eine Änderung der am Hall-Element wirksamen Induktion ergibt. Nach dem Streitpatent (siehe Spalte 1, Zeilen 19 bis 27 und 50 bis 55) ist insbesondere das Ausgangssignal aus dem Hall-Element und dem ihm zugeordneten Hybridschaltkreis bei diesem bekannten Drucksensor temperaturabhängig, wobei die Merkmale des kennzeichnenden Teils des strittigen Patentanspruchs 1, in Verbindung mit den Merkmalen des Oberbegriffs, dieses Problem lösen sollen.
5.2. E1 ist keine Angabe über Temperaturabhängigkeit des Sensors zu entnehmen. Die Beschwerdegegnerin hat zwar darauf hingewiesen, daß Anspruch 7 von E1 die Angabe enthalte, daß zusammen mit dem Hall-IC zumindest zwei abgleichbare Widerstände zu verwenden seien; dies sei nicht darauf beschränkt, nur bestimmte Parameter wie beispielweise Offset und Empfindlichkeit des Drucksensors einzustellen, sondern gelte ebenso für einen Temperaturabgleich; außerdem schließe diese Angabe die Auswahl der Widerstände im Hinblick auf die jeweils abzugleichenden Parameter ein, also auch die Auswahl von Widerständen mit unterschiedlichen Temperaturkoeffizienten oder die Auswahl von Widerständen hinsichtlich anderer Eigenschaften, woraus sich zwangsläufig unterschiedliche Temperaturkoeffizienten ergäben. In Bezug auf dieses Argument ist jedoch anzumerken, daß dem Stand der Technik kein Hinweis zu entnehmen ist, daß ein Abgleichverfahren unbedingt bei verschiedenen Temperaturen eines Temperaturbereichs ausgeübt werden soll. E1 (siehe Anspruch 7; siehe auch Seite 6, zweiten Absatz) fügt in Bezug auf die aufgeführten Ausführungsbeispiele lediglich hinzu, daß auf der Hybridplatte (16) des IC seitlich von dem Magnetfeldabhängigen Halbleiter-Chip des IC Widerstände aufgebracht sind, welche mit Hilfe eines Laserstrahles abgeglichen werden können. Es ist weiter anzumerken, daß der Abgleich nach Meyers Enzyklopädischem Lexikon (1971) als das Einstellen auf den verlangten Sollwert definiert ist, wobei z. B. der Abgleich von Widerständen durch vorsichtiges Abreiben der Widerstandsschicht oder z. B. das einmalige, genaue elektrisch Anpassen bestimmter Schaltelemente an die elektrischen Eigentümlichkeiten einer Schaltung, in der sie verwendet werden, erfolgt. Eine Temperaturgangkompensation im Sinne des Streitpatents, d. h. eine vollkommene Temperaturgangkompensation, beispielweise bei verschiedenen Temperaturen, ist weder E1 noch Meyers Enzyklopädischem Lexikon zu entnehmen. Durch den in E1 erwähnten Abgleich ergeben sich zwar zwangsläufig Widerstände mit Merkmalen, z. B. mit Temperaturkoeffizienten, die unterschiedlich sein können, wobei eine Auswahl der Parameter möglich ist; jedoch werden in E1 lediglich ein Abgleich aber kein Temperaturgang und keine Kompensation erwähnt. Deswegen ist nach Meinung der Kammer dieser Entgegenhaltung kein Hinweis auf eine vollkommene Temperaturgangkompensation, beispielweise bei verschiedenen Temperaturen, im Sinne des Streitpatents, zu entnehmen.
5.3. Aus E3 (siehe Seite 3, zweiten Absatz, ersten Satz; siehe auch das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1) ist zwar bekannt, daß für Drucksensoren mit Hall-Elementen, d. h. auf dem gleichen technischen Gebiet als E1, eine Temperaturkompensation notwendig sein kann; das in E3 (siehe Seite 3, zweiten Absatz, ersten Satz; siehe auch das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1) aufgeführte Hall- Element ist als Teil eines monolitischen, integrierten Halbleiterschaltkreises (IC) ausgebildet, welcher zusätzlich zum Hall-Element eine Temperaturkompensation enthält. Jedoch wird in E3 weder auf die Merkmale des Hall-Elements noch auf die Merkmale der erwähnten Temperaturkompensation eingegangen. Obwohl die "Kompensation" im gewöhnlichen Sinn so zu verstehen ist, daß die verschiedenen Elemente des Drucksensors von E3 je einen unterschiedlichen Koeffizienten aufweisen sollen, so daß sich der jeweilige Wert des entsprechenden Merkmals unterschiedlich verhalten und sich insgesamt eine Kompensation ergeben sollen, ist E3 nicht zu entnehmen, daß die erwähnte Kompensation im Sinne des Streitpatents eine vollkommene Temperaturgangkompensation, beispielweise bei verschiedenen Temperaturen, sei.
5.4. Aus E2 (siehe den ersten Absatz; zweite Spalte, vorletzten Absatz) ist ein GaAs-Positionssensor bekannt, der auf dem Hall-Effekt beruht und insbesondere Aufgaben im Bereiche der digitalen, berührungslosen, verschleißfreien Erfassung von Steuerparametern wie dem Weg, d. h. dem Abstand zwischen zwei Elementen, erfüllen kann, und somit für die Positionserfassung von beweglichen Magneten für die Messung des Membranweges in Druckdosen angewendet werden kann. Es ist auch anzumerken, daß E2 (siehe erste Spalte, ersten und letzten Absatz; zweite Spalte, letzten Absatz) besonders auf die Anforderungen der Kfz-Industrie in Bezug auf den Arbeitstemperaturbereich hinweist und kleine, aber nicht wertlose Temperaturkoeffizienten, insbesondere für den Innenwiderstand, angibt. Jedoch ist E2 kein Hinweis auf die Notwendigkeit einer Temperaturkompensation und insbesondere einer vollkommenen Temperaturgangkompensation, beispielweise bei verschiedenen Temperaturen, zu entnehmen.
5.5. Daher ist die Kammer der Auffassung, daß dem Stand der Technik keine Angabe über das Merkmal (e) im Sinne des Streitpatents zu entnehmen ist.
5.6. Die Kammer ist auch der Meinung, daß hinsichtlich der zusätzlichen Merkmale (d) und (f) des strittigen Patentanspruchs 1, die Frage, ob sie zu einer erfinderischen Tätigkeit des strittigen Gegenstands beitragen könnten, unberücksichtigt bleiben kann, weil es zuerst darauf ankommt, daß ein Drucksensor mit den Merkmalen (a), (b), (c) und (e) nicht nahegelegen hat.
5.7. Daher beruht der Gegenstand des strittigen Patentanspruchs 1 auf einer erfinderischen Tätigkeit im Sinne von Artikel 56 EPÜ.
5.8. Daher stehen die genannten Einspruchsgründe der Aufrechterhaltung des europäischen Patents in unveränderter Form nicht entgegen (Art. 102 (2) EPÜ).
6. Antrag auf Rückzahlung der Beschwerdegebühr
6.1. Die Rückzahlung der Beschwerdegebühr wird insbesondere angeordnet, wenn der Beschwerde durch die Beschwerdekammer stattgegeben wird und die Rückzahlung wegen eines wesentlichen Verfahrensmangels der Billigkeit entspricht (Regel 67, erster Satz, EPÜ).
6.2. Was die Begründungspflicht betrifft ist folgendes anzumerken. Es ist zwar richtig, daß in der strittigen Entscheidung (siehe Seite 4, § 4, dritten Absatz bis Seite 5, zweiten Absatz) auf die Kenntnisse von namhaften Fachleuten und auf die Aussage eines namhaften Fachmanns auf dem Gebiet der Drucksensoren eingegangen wird, insbesondere in Hinsicht auf die Verwendung von handelsüblichen Dünn- oder Dickschichtwiderständen zur Kompensation von Temperatureinflüssen und zur Erhöhung des druckabhängigen Signals, ohne daß Hinweise auf die Identität der namhaften Fachleute oder auf den genauen Inhalt ihrer Aussage entnommen werden können, so daß die entsprechende Lehre nicht nachvollziehbar ist und nur eine unvollständige Information über die Gründe des Widerrufs des Patents ergibt. Ein Verstoß gegen die Begründungspflicht nach Regel 68 (2) EPÜ besteht jedoch nicht, denn es genügt, daß die Entscheidung irgendeine Begründung, auch wenn unvollständig und mangelhaft, enthält.
6.3. Was die Vorschrift über rechtliches Gehör betrifft, ist folgendes anzumerken. Die Tatsache, daß von Seite der Einspruchsabteilung kein Bescheid mit einer Zusammenfassung der Gründe, die der Aufrechterhaltung des Patents entgegenstehen, ergangen ist, bedeutet nicht zwangsläufig einen Verstoß gegen die Konvention (siehe Regel 58 (3) in Zusammenhang mit Artikel 101 (2) EPÜ). Vielmehr sollen die Erfordernisse des Artikels 113 (1) EPÜ berücksichtigt werden. In dem vorliegenden Fall waren die Gründe, auf denen die Entscheidung der Einspruchsabteilung gestützt ist, im Laufe des Einspruchsverfahrens von der Stellungnahme der Beteiligten entnehmbar. Insbesondere wurde der Inhalt der erst nach der Zustellung der Entscheidung übermittelten Eingabe der Beschwerdegegnerin schon früher während des Einspruchsverfahrens in Zusammenhang mit dem Merkmal (f) des Anspruchs 1 des strittigen Patents zitiert. Ein Verstoß gegen die Vorschrift über rechtliches Gehör nach Artikel 113 (1) EPÜ besteht deswegen nicht.
6.4. Die Kammer ist daher der Auffassung, daß kein wesentlicher Verfahrensmangel im Sinne von Regel 67, erstem Satz, vorliegt.
6.5. Daher wird der Antrag auf Rückzahlung der Beschwerdegebühr zurückgewiesen.
ENTSCHEIDUNGSFORMEL
Aus diesen Gründen wird entschieden:
1. Die Entscheidung der Einspruchsabteilung wird aufgehoben und das europäische Patent Nr.88 270 wird aufrechterhalten.
2. Der Antrag auf Rückzahlung der Beschwerdegebühr wird zurückgewiesen.