Erik Loopstra (NL) et Vadim Banine (NL/RU)

Erik Loopstra (NL) and Vadim Banine (NL/RU)

Lithographie EUV pour de plus petites et plus puissantes puces électroniques

Plus petites, plus rapides et plus efficaces, les micropuces de la prochaine génération sont fabriquées à l'aide d'un nouveau procédé de photolithographie mis au point par cette équipe néerlandaise.

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